[发明专利]用于防止空间ALD处理腔室中的背侧沉积的装置

摘要

描述了一种包含具有支撑柱的基座的基座组件。所述基座具有主体，所述主体具有顶表面与底表面。所述顶表面具有多个凹部。所述支撑柱连接至所述基座的底表面，以旋转所述基座组件。所述支撑柱包括支撑柱真空气室，所述支撑柱真空气室与所述基座的主体中的基座真空气室流体连通。所述支撑柱还包括净化气体管线，所述净化气体管线通过支撑柱延伸至所述基座的主体中的净化气体气室。

主权项

1.一种基座组件，包含：基座，具有主体，所述主体具有顶表面与底表面，所述顶表面中具有多个凹部；以及支撑柱，连接至所述基座的所述底表面，以旋转所述基座组件，所述支撑柱包括：支撑柱真空气室，所述支撑柱真空气室与所述基座的所述主体中的基座真空气室流体连通，以及净化气体管线，所述净化气体管线通过所述支撑柱延伸至所述基座的所述主体中的净化气体气室。