[发明专利]弹性波装置及其制造方法有效
| 申请号: | 201780022799.6 | 申请日: | 2017-02-21 |
| 公开(公告)号: | CN109075768B | 公开(公告)日: | 2022-06-24 |
| 发明(设计)人: | 菊知拓;关家大辅 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号: | H03H9/25 | 分类号: | H03H9/25;H01L23/04;H01L23/34;H03H3/08 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 朴云龙 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明提供一种不易产生布线电极的损伤的弹性波装置。在压电基板(2)的第一主面(2a)设置有IDT电极(3)以及由金属构成的布线电极(4)。设置有过孔电极(6、6),使得贯通压电基板(2)。过孔电极(6)与外部连接端子连接。配置有覆盖构件(8),使得与压电基板(2)的第一主面(2a)构成对IDT电极(3)进行密封的中空空间(13)。具备散热构件(14),该散热构件(14)设置在布线电极(4)上,从布线电极(4)朝向覆盖构件(8)延伸,并贯通覆盖构件(8)。 | ||
| 搜索关键词: | 弹性 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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