[发明专利]弹性波装置及其制造方法

权利要求书

1.一种弹性波装置，具备：

压电基板，具有相互对置的第一主面以及第二主面；

IDT电极，设置在所述第一主面；

布线电极，设置在所述第一主面，与所述IDT电极电连接；

过孔电极，贯通所述压电基板，与所述布线电极电连接；

外部连接端子，设置在所述压电基板的所述第二主面，与所述过孔电极电连接；以及

覆盖构件，配置为在与所述压电基板的所述第一主面之间构成对所述IDT电极进行密封的中空空间，

所述弹性波装置还具备：散热构件，导热性比所述覆盖构件高，设置在所述布线电极上，从所述布线电极朝向所述覆盖构件延伸，且贯通所述覆盖构件。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

还具备：支承层，设置在所述压电基板，具有构成所述中空空间的开口部，

在所述支承层上接合有所述覆盖构件。

3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，

设置有贯通所述支承层以及所述覆盖构件的所述散热构件。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，

在俯视的情况下，在所述过孔电极中的与所述布线电极接合的部分与所述散热构件中的与所述布线电极接合的端面重叠的位置设置有所述散热构件以及所述过孔电极。

5.根据权利要求4所述的弹性波装置，其中，

在俯视的情况下，所述散热构件中的与所述布线电极接合的部分包含所述过孔电极中的与所述布线电极接合的部分。

6.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，

具备：高导热性材料部，覆盖露出所述散热构件的部分，设置在所述覆盖构件中的与所述中空空间侧的主面相反侧的外侧主面，且导热性比所述覆盖构件高。

7.根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，

所述高导热性材料部由外装树脂构成。

8.根据权利要求7所述的弹性波装置，其中，

在所述外装树脂的外侧设置有由金属构成的屏蔽层。

9.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，

还具备：其它电子部件元件，层叠在所述覆盖构件中的与所述中空空间侧的主面相反侧的外侧主面。

10.根据权利要求9所述的弹性波装置，其中，

所述其它电子部件元件具有与所述散热构件接合的外部连接端子。

11.一种弹性波装置的制造方法，是权利要求1～10中的任一项所述的弹性波装置的制造方法，具备：

准备如下构造的工序，该构造具备：所述压电基板；IDT电极，设置在所述压电基板的所述第一主面；布线电极，设置在所述第一主面，与所述IDT电极电连接；覆盖构件，配置为在与所述压电基板的所述第一主面之间构成对所述IDT电极进行密封的中空空间；以及散热构件，导热性比所述覆盖构件高，设置在所述布线电极上，从所述布线电极朝向所述覆盖构件延伸，且贯通所述覆盖构件；

从所述压电基板的所述第二主面照射激光而形成从所述第一主面朝向所述第二主面贯通的多个贯通孔的工序；

通过在所述多个贯通孔内配置电极材料，从而形成所述过孔电极的工序；以及

在所述压电基板的所述第二主面形成与所述过孔电极电连接的外部连接端子的工序。