[发明专利]弹性波装置及其制造方法

说明书

本发明提供一种不易产生布线电极的损伤的弹性波装置。在压电基板(2)的第一主面(2a)设置有IDT电极(3)以及由金属构成的布线电极(4)。设置有过孔电极(6、6)，使得贯通压电基板(2)。过孔电极(6)与外部连接端子连接。配置有覆盖构件(8)，使得与压电基板(2)的第一主面(2a)构成对IDT电极(3)进行密封的中空空间(13)。具备散热构件(14)，该散热构件(14)设置在布线电极(4)上，从布线电极(4)朝向覆盖构件(8)延伸，并贯通覆盖构件(8)。

技术领域

本发明涉及具有贯通压电基板的过孔电极的弹性波装置及其制造方法。

背景技术

以往，已知一种在压电基板形成过孔电极而成的弹性波装置。在下述的专利文献1记载的弹性波装置中，在由LiNbO₃等压电单晶构成的压电基板上设置有IDT电极以及布线电极。设置有支承层，使得包围IDT电极以及布线电极。在支承层上设置有覆盖构件。由此，IDT电极被密封在中空空间内。另一方面，为了与外部的连接，在压电基板设置有过孔电极。过孔电极的一端与布线电极连接。在压电基板中与设置有布线电极侧相反侧的主面，设置有外部连接端子。过孔电极的另一端与外部连接端子接合。

在形成上述过孔电极时，对由LiNbO₃等构成的压电基板照射激光，形成了贯通孔。通过对该贯通孔赋予金属，从而设置了过孔电极。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-159195号公报

发明内容

发明要解决的课题

在专利文献1记载的弹性波装置中，在设置了IDT电极以及布线电极之后，从压电基板的与设置有IDT电极侧的主面相反侧的主面照射激光。由此，形成了上述贯通孔。在该情况下，通过激光的照射，布线电极被加热，其结果是，布线电极有可能损伤。

本发明的目的在于，提供一种在设置于压电基板的过孔电极的一端与布线电极连接的构造中不易产生该布线电极的损伤的弹性波装置及其制造方法。

用于解决课题的技术方案

本发明涉及的弹性波装置具备：压电基板，具有相互对置的第一主面以及第二主面；IDT电极，设置在所述第一主面；布线电极，设置在所述第一主面，与所述IDT电极电连接；过孔电极，贯通所述压电基板，与所述布线电极电连接；外部连接端子，设置在所述压电基板的所述第二主面，与所述过孔电极电连接；以及覆盖构件，配置为在与所述压电基板的所述第一主面之间构成对所述IDT电极进行密封的中空空间，所述弹性波装置还具备：散热构件，导热性比所述覆盖构件高，设置在所述布线电极上，从所述布线电极朝向所述覆盖构件延伸，且贯通所述覆盖构件。

在本发明涉及的弹性波装置的某个特定的方面中，还具备：支承层，设置在所述压电基板，具有构成所述中空空间的开口部，在所述支承层上接合有所述覆盖构件。在该情况下，按照本发明，能够提供一种具有WLP型的封装构造的弹性波装置。

在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的方面中，设置有贯通所述支承层以及所述覆盖构件的所述散热构件。在该情况下，由于散热构件被设置在支承层内，所以能够谋求小型化。

在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，在俯视的情况下，在所述过孔电极中的与所述布线电极接合的部分与所述散热构件中的与所述布线电极接合的端面重叠的位置设置有所述散热构件以及所述过孔电极。在该情况下，能够更加有效地抑制由热造成的布线电极的损伤。

在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的方面中，在俯视的情况下，所述散热构件中的与所述布线电极接合的部分包含所述过孔电极中的与所述布线电极接合的部分。在该情况下，通过由散热构件进行的散热，更加不易产生布线电极的由热造成的损伤。