[发明专利]具有真空轮的输送系统

摘要

一种用于输送基板的系统包括用于支撑基板的非接触支撑平台。真空轮与支撑平台相邻地定位。真空轮的轮缘包括在轮缘的外部与真空轮的内部之间敞开的穿孔。固定的抽吸表面在该真空轮内部并包括可连接到抽吸源的导管的开口。腔室由抽吸表面、真空轮的壁以及周边轮缘的区段形成，该区段与抽吸表面相邻并从支撑平台向外延伸。当抽吸被施加到导管时，该抽吸经，由腔室施加到轮缘区段中的穿孔，以便朝向轮缘在该基板上施加拉拔，使得真空轮的旋转输送基板。

主权项

1.一种用于输送基板的系统，所述系统包括：非接触支撑平台，所述非接触支撑平台被配置为将所述基板支撑在距所述非接触支撑平台的表面的非零距离处；真空轮，所述真空轮与所述非接触支撑平台的一部分相邻地定位，所述真空轮的周边轮缘包括多个穿孔，所述穿孔在所述轮缘的外部与所述真空轮的内部之间敞开；以及固定的抽吸表面，所述抽吸表面在所述真空轮内部，所述抽吸表面包括导管的开口，所述导管能连接到抽吸源，腔室由所述抽吸表面、所述真空轮的壁以及所述周边轮缘的与所述抽吸表面相邻并从所述非接触支撑的所述表面向外延伸的区段形成，其中，当抽吸由所述抽吸源施加到所述导管时，所述抽吸经由所述腔室施加到所述周边轮缘的所述区段中的所述穿孔，以便朝向所述轮缘在所述基板上施加拉拔，使得所述真空轮的旋转输送所述基板。