[发明专利]具有真空轮的输送系统

说明书

一种用于输送基板的系统包括用于支撑基板的非接触支撑平台。真空轮与支撑平台相邻地定位。真空轮的轮缘包括在轮缘的外部与真空轮的内部之间敞开的穿孔。固定的抽吸表面在该真空轮内部并包括可连接到抽吸源的导管的开口。腔室由抽吸表面、真空轮的壁以及周边轮缘的区段形成，该区段与抽吸表面相邻并从支撑平台向外延伸。当抽吸被施加到导管时，该抽吸经，由腔室施加到轮缘区段中的穿孔，以便朝向轮缘在该基板上施加拉拔，使得真空轮的旋转输送基板。

技术领域

本发明涉及输送系统。更具体地，本发明涉及一种具有真空轮的输送系统。

背景技术

在制造大的扁平且薄的物体时，通常需要将物体从一个位置输送到另一个位置。例如，可以将物体从执行制造过程的工作站运输到执行不同制造过程或检查过程的另一个工作站。在一些这样的过程中，必须将与物体的接触限制在物体的并非意在最终产品中执行关键功能的那些区域(例如，通常与边缘相邻的边界)。因此，非接触支撑表面可以用于支撑物体。

生产大的薄且扁平的物体的行业的示例包括制造用于在平板显示器中使用的薄玻璃或聚合物基板。在制造或检查期间与这样的基板的接触可能被限于位于基板的边缘处的区域，该区域有时被称为排除区。当结合到最终产品(例如，显示屏)中时，排除区可以提供主要机械功能(例如，将薄板保持就位)，而非用作用于电子部件或连接件的基板或者提供需要无接触处理的另一个功能。

发明内容

因此，根据本发明的一实施例，提供了一种用于输送基板的系统，该系统包括：非接触支撑平台，其被配置为将基板支撑在距非接触支撑平台的表面的非零距离处；真空轮，其与非接触支撑平台的一部分相邻地定位，真空轮的周边轮缘包括在轮缘的外部与真空轮的内部之间敞开的多个穿孔；以及固定的抽吸表面，其在真空轮内部，抽吸表面包括导管的开口，导管可连接到抽吸源，腔室由抽吸表面、真空轮的壁以及周边轮缘的与抽吸表面相邻并从非接触支撑件的表面向外延伸的区段形成，其中，在通过抽吸源将抽吸施加到导管时，该抽吸经由腔室施加到周边轮缘的区段中的穿孔，以便朝向周边轮缘在基板上施加拉拔，使得真空轮的旋转输送基板。

另外，根据本发明的一实施例，非接触支撑平台被配置为产生双向刚度。

另外，根据本发明的一实施例，非接触支撑平台包括至少两个平行轨道，并且其中，真空轮位于至少两个平行轨道中的两个平行轨道之间的间隙中。

另外，根据本发明的一实施例，真空轮位于非接触支撑平台的开口中。

另外，根据本发明的一实施例，真空轮与非接触支撑平台的边缘相邻地定位。

另外，根据本发明的一实施例，多个穿孔被布置为多个平行排，这些排关于真空轮的轴线以一倾斜角定向。

另外，根据本发明的一实施例，多个穿孔被布置为使得在所施加的抽吸大致上恒定时，所施加的拉拔在真空轮旋转时保持大致上恒定。

另外，根据本发明的一实施例，多个穿孔与位于周边轮缘上并大致上平行于真空轮的轮轴的任何线的交线的总长度大致上恒定。

另外，根据本发明的一实施例，多个穿孔中的每对方位上相邻的穿孔重叠了大致上恒定的方位位移。

另外，根据本发明的一实施例，轮缘包括防滑材料。

另外，根据本发明的一实施例，抽吸表面在切向方向上凸出地弯曲，抽吸表面的曲率小于轮缘的曲率。

另外，根据本发明的一实施例，系统包括抽吸源。

另外，根据本发明的一实施例，抽吸源进一步可操作成施加挤压。

另外，根据本发明的一实施例，该系统包括控制器，该控制器被配置为控制抽吸源施加抽吸或挤压。