[发明专利]感光性树脂组合物、感光性元件、带抗蚀剂图案的基板的制造方法、以及印刷配线板的制造方法在审
申请号: | 201780017616.1 | 申请日: | 2017-03-17 |
公开(公告)号: | CN108780276A | 公开(公告)日: | 2018-11-09 |
发明(设计)人: | 冈出翔太;桃崎彩;李相哲;村松有纪子;泽边贤 | 申请(专利权)人: | 日立化成株式会社 |
主分类号: | G03F7/031 | 分类号: | G03F7/031;C08F2/44;C08F2/50;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/029;H05K3/06;H05K3/18 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 钟晶;金鲜英 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: |
感光性树脂组合物含有:具有源自(甲基)丙烯酸的结构单元的粘合剂聚合物、包含亚乙基氧基的结构单元数小于6的双酚A型二(甲基)丙烯酸酯的光聚合性化合物、光聚合引发剂、以及式(1)所表示的苯乙烯基吡啶化合物。式中,R1、R2和R3各自独立地表示碳原子数1~20的烷基、碳原子数1~6的烷氧基等,a、b和c各自独立地表示0~5的整数。 |
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搜索关键词: | 式( 1 ) 感光性树脂组合物 碳原子数 苯乙烯基吡啶化合物 丙烯酸 光聚合性化合物 烷基 光聚合引发剂 粘合剂聚合物 感光性元件 抗蚀剂图案 亚乙基氧基 印刷配线板 丙烯酸酯 双酚A型 烷氧基 基板 式中 制造 | ||
【主权项】:
1.一种感光性树脂组合物,其含有:具有源自(甲基)丙烯酸的结构单元的粘合剂聚合物、包含亚乙基氧基的结构单元数小于6的双酚A型二(甲基)丙烯酸酯的光聚合性化合物、光聚合引发剂、以及下述式(1)所表示的苯乙烯基吡啶化合物,[化1]
式(1)中,R1、R2和R3各自独立地表示碳原子数1~20的烷基、碳原子数1~6的烷氧基、碳原子数1~6的烷基酯基、氨基、碳原子数1~20的烷基氨基、羧基、氰基、硝基、乙酰基或(甲基)丙烯酰基,a、b和c各自独立地表示0~5的整数。
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