[发明专利]感光性树脂组合物、感光性元件、带抗蚀剂图案的基板的制造方法、以及印刷配线板的制造方法

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其含有：

具有源自(甲基)丙烯酸的结构单元的粘合剂聚合物、

包含亚乙基氧基的结构单元数小于6的双酚A型二(甲基)丙烯酸酯的光聚合性化合物、

光聚合引发剂、以及

下述式(1)所表示的苯乙烯基吡啶化合物，

[化1]

式(1)中，R¹、R²和R³各自独立地表示碳原子数1～20的烷基、碳原子数1～6的烷氧基、碳原子数1～6的烷基酯基、氨基、碳原子数1～20的烷基氨基、羧基、氰基、硝基、乙酰基或(甲基)丙烯酰基，a、b和c各自独立地表示0～5的整数。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，所述光聚合引发剂包含下述式(2)所表示的2,4,5-三芳基咪唑二聚体，

[化2]

式(2)中，Ar¹、Ar²、Ar³和Ar⁴各自独立地表示可以被选自由烷基、烯基和烷氧基组成的组中的至少一种取代基取代的芳基，X¹和X²各自独立地表示卤原子、烷基、烯基或烷氧基，p和q各自独立地表示1～5的整数。

3.一种感光性元件，其具备支撑体和设置于所述支撑体上的感光层，所述感光层是使用权利要求1或2所述的感光性树脂组合物而成的。

4.一种带抗蚀剂图案的基板的制造方法，其具有如下工序：

在基板上形成使用权利要求1或2所述的感光性树脂组合物而成的感光层的工序；

对所述感光层的至少一部分区域照射活性光线，使所述区域光固化而形成固化物区域的工序；以及

将所述感光层的除所述固化物区域以外的至少一部分从所述基板上除去，在所述基板上形成抗蚀剂图案的工序。

5.根据权利要求4所述的带抗蚀剂图案的基板的制造方法，所述活性光线的波长为340～430nm的范围内。

6.一种印刷配线板的制造方法，其具有：对通过权利要求4或5所述的带抗蚀剂图案的基板的制造方法形成了抗蚀剂图案的基板进行蚀刻处理的工序。

7.一种印刷配线板的制造方法，其具有：对通过权利要求4或5所述的带抗蚀剂图案的基板的制造方法形成了抗蚀剂图案的基板进行镀敷处理的工序。