[发明专利]雾气产生装置、成膜装置、雾气产生方法、成膜方法、及元件制造方法有效
| 申请号： | 201780016625.9 | 申请日： | 2017-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN108778527B | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 奈良圭;西康孝;中积诚;岩堀恒一郎;山田研太郎;铃木涼子 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | B05B17/06 | 分类号： | B05B17/06;B05D1/02;B05D1/06;B05D1/32;B05D3/10;B05D5/12;B05D7/24;G03F7/20;H01B13/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王涛;任默闻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的产生包含微粒子(NP)的雾气(MT)的雾气产生装置(MG1)包含：容器(30a)，其保持包含微粒子(NP)的分散液(DIL)；第1振动部(32a)，其通过对容器(30a)内的分散液(DIL)赋予第1频率的振动，而抑制微粒子(NP)于分散液(DIL)中的凝集；以及第2振动部(34a)，其对容器(30a)内的分散液(DIL)赋予高于第1频率、且用以自分散液(DIL)的表面产生包含微粒子(NP)的雾气(MT)的第2频率的振动。 | ||
| 搜索关键词： | 雾气 产生 装置 方法 元件 制造 | ||
【主权项】：
1.一种雾气产生装置，其产生包含微粒子的雾气，且包含：第1容器，其保持包含所述微粒子的雾气生成用的溶液；第1振动部，其通过对所述第1容器内的所述溶液赋予第1频率的振动，而抑制所述微粒子于所述溶液中的凝集；以及第2振动部，其对所述第1容器内的所述溶液赋予高于所述第1频率、且用以自所述溶液的表面产生包含所述微粒子的雾气的第2频率的振动。
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