[发明专利]控制具有电容式和压电电极的MEMS麦克风的机械属性有效
| 申请号： | 201780015917.0 | 申请日： | 2017-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN108781335B | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | A.多勒;S.斯里达兰 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 毕铮;申屠伟进 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 麦克风系统包括MEMS麦克风和电子控制器。MEMS麦克风包括可移动膜和背板。可移动膜包括电容式电极和压电电极。电容式电极被配置使得作用在可移动膜上的声压引起电容式电极的移动。压电电极基于控制信号而更改MEMS麦克风的机械属性。背板定位在可移动膜的第一侧上。电子控制器电气地耦合到压电电极并被配置为生成控制信号。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 具有 电容 压电 电极 mems 麦克风 机械 属性 | ||
【主权项】：
1.一种麦克风系统，包括：MEMS麦克风，其包括可移动膜，其具有电容式电极，其被配置使得作用在可移动膜上的声压引起电容式电极的移动，以及压电电极，其基于控制信号而更改MEMS麦克风的机械属性，以及背板，其定位在可移动膜的第一侧上；以及电子控制器，其电气地耦合到压电电极并被配置为生成控制信号。
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