[发明专利]控制具有电容式和压电电极的MEMS麦克风的机械属性

说明书

麦克风系统包括MEMS麦克风和电子控制器。MEMS麦克风包括可移动膜和背板。可移动膜包括电容式电极和压电电极。电容式电极被配置使得作用在可移动膜上的声压引起电容式电极的移动。压电电极基于控制信号而更改MEMS麦克风的机械属性。背板定位在可移动膜的第一侧上。电子控制器电气地耦合到压电电极并被配置为生成控制信号。

背景技术

本公开的实施例涉及具有电容式和压电电极两者的微机电系统（MEMS）麦克风。更特别地，本公开涉及使用压电构件来控制电容式MEMS麦克风的机械属性。

发明内容

在电容式传感器上应用压电涂层运用压电涂层的机械到电气的互易性，使得其可以用于控制结构的机械属性。

因此，一个实施例提供一种包括MEMS麦克风和电子控制器的麦克风系统。MEMS麦克风包括可移动膜和背板。可移动膜包括电容式电极和压电电极。电容式电极被配置使得作用在可移动膜上的声压引起电容式电极的移动。压电电极基于控制信号而更改MEMS麦克风的机械属性。背板定位在可移动膜的第一侧上。电子控制器电气地耦合到压电电极并被配置为生成控制信号。

另一个实施例提供一种包括MEMS麦克风和电子控制器的麦克风系统。MEMS麦克风包括电容式电极、压电电极和背板。电容式电极被配置使得作用在电容式电极上的声压引起电容式电极的移动。压电电极基于控制信号而更改MEMS麦克风的机械属性。背板定位在电容式电极的第一侧上。电子控制器电气地耦合到压电电极并被配置为生成控制信号。

通过考虑详细描述和附图，本公开的其他方面将变得清楚。

附图说明

图1是根据一些实施例的MEMS麦克风的横截面视图，所述MEMS麦克风具有与背板相反定位的可移动膜的压电电极。

图2是根据一些实施例的具有图1的MEMS麦克风的麦克风系统的框图。

图3是根据一些实施例的MEMS麦克风的横截面视图，所述MEMS麦克风具有邻近于背板定位的可移动膜的压电电极。

图4是根据一些实施例的具有两个压电电极的MEMS麦克风的横截面视图，所述两个压电电极定位在可移动膜的相反侧上。

图5是根据一些实施例的具有图4的MEMS麦克风的麦克风系统的框图。

图6是根据一些实施例的具有两个压电电极的MEMS麦克风的横截面视图，所述两个压电电极定位在可移动膜的相同侧上。

具体实施方式

在详细解释本公开的任何实施例之前，要理解，本公开在其应用方面不限于以下描述中阐述的或所附附图中图示的组件的构造和布置的细节。本公开能够具有其他实施例并且能够以各种方式被实践或被施行。

而且，要理解，本文使用的措辞和术语是出于描述的目的，并且不应当被视为限制性的。本文中“包括”、“包含”或“具有”以及它们的变型的使用意指涵盖其后列出的项目和项目的等同物以及附加项目。术语“安装的”、“连接的”和“耦合的”广泛使用，并涵盖直接和间接安装、连接和耦合。此外，“连接的”和“耦合的”不局限于物理或机械连接或耦合，并且可以包括电气连接或耦合，无论是直接或是间接的。而且，可以使用包括直接连接、无线连接等的其他已知手段来执行电子通信和通知。

还应当指出，可以利用多个基于硬件和软件的设备以及多个不同结构组件来实现本公开。此外，并且如在后续段落中所描述的，附图中图示的具体配置意图例示本公开的实施例。可替换配置是可能的。