[发明专利]控制具有电容式和压电电极的MEMS麦克风的机械属性

权利要求书

1.一种麦克风系统，包括：

MEMS麦克风，其包括

可移动膜，其具有

电容式电极，其被配置使得作用在可移动膜上的声压引起电容式电极的移动，以及

压电电极，其覆盖电容式电极并且基于控制信号而更改MEMS麦克风的机械属性，以及

背板，其定位在可移动膜的第一侧上；以及

电子控制器，其电气地耦合到压电电极并被配置为生成控制信号，

其中MEMS麦克风的机械属性包括选自由刚度、间隙大小、超程止动、质量和机械阻尼构成的组中的至少一个属性。

2.根据权利要求1所述的麦克风系统，其中电子控制器电气地耦合到电容式电极和背板，其中电子控制器还被配置为确定电容式电极和背板之间的电压差。

3.根据权利要求2所述的麦克风系统，其中电子控制器还被配置为至少部分地基于电压差来生成控制信号。

4.根据权利要求1所述的麦克风系统，其中压电电极基于控制信号而生成作用在可移动膜上的机械压力。

5.根据权利要求1所述的麦克风系统，其中压电电极耦合到可移动膜的第二侧。

6.根据权利要求1所述的麦克风系统，其中可移动膜还具有覆盖电容式电极并且基于第二控制信号而更改可移动膜的机械属性的第二压电电极。

7.根据权利要求6所述的麦克风系统，其中电子控制器电气地耦合到第二压电电极，其中电子控制器还被配置为生成第二控制信号。

8.根据权利要求6所述的麦克风系统，其中压电电极和第二压电电极耦合到可移动膜的第二侧。

9.根据权利要求6所述的麦克风系统，其中压电电极耦合到可移动膜的第二侧，并且第二压电电极耦合到可移动膜的第一侧。

10.根据权利要求4所述的麦克风系统，其中可移动膜还具有基于第二控制信号而生成作用在可移动膜上的第二机械压力的第二压电电极。

11.根据权利要求1所述的麦克风系统，其中所述麦克风系统还包括电气地耦合到电子控制器的用户接口，其中电子控制器还被配置为至少部分地基于经由用户接口接收的输入来生成控制信号。

12.一种麦克风系统，包括：

MEMS麦克风，其包括

电容式电极，其被配置使得作用在电容式电极上的声压引起电容式电极的移动，以及

压电电极，其耦合到电容式电极，压电电极覆盖电容式电极并且基于控制信号而更改MEMS麦克风的机械属性，以及

背板，其定位在电容式电极的第一侧上；以及

电子控制器，其电气地耦合到压电电极并被配置为生成控制信号，

其中MEMS麦克风的机械属性包括选自由刚度、间隙大小、超程止动、质量和机械阻尼构成的组中的至少一个属性。

13.根据权利要求12所述的麦克风系统，其中电子控制器电气地耦合到电容式电极和背板，其中电子控制器还被配置为确定电容式电极和背板之间的电压差。

14.根据权利要求13所述的麦克风系统，其中电子控制器还被配置为至少部分地基于电压差来生成控制信号。

15.根据权利要求13所述的麦克风系统，其中压电电极基于控制信号而生成作用在电容式电极上的机械压力。