[发明专利]供给液体制造装置及供给液体制造方法有效
| 申请号： | 201780006815.2 | 申请日： | 2017-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN108472610B | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 小泽卓;中川洋一;高桥宗人;徐涛;横山俊夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B01F15/02 | 分类号： | B01F15/02;B01F1/00;B01F3/04;B01F3/08 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 张丽颖 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够制造与使用点所必需的量对应的供给液体的供给液体制造装置。供给液体制造装置具备：将水与臭氧气体混合而生成臭氧水的混合器(113)；使向混合器(113)供给的水升压的升压泵(112)；将由混合器(113)生成的臭氧水气液分离成向使用点(119)供给的臭氧水和从排气口(125)排出的排出气体的气液分离箱(114)；对从气液分离箱(114)向使用点(119)供给的臭氧水的流量进行测定的流量计(117)；根据由流量计(117)测定的臭氧水的流量，控制升压泵(112)，对升压并供给至混合器(113)的水的压力(流量)进行调整的流量控制部(126)；以及以将气液分离箱(114)内的水位保持为恒定的方式控制排出气体的排气压力的排气压力控制部(123)。 | ||
| 搜索关键词： | 供给 液体 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种供给液体制造装置，其特征在于，具备：混合部，该混合部混合第一原料与第二原料而生成混合液体；泵部，该泵部对向所述混合部供给的所述第一原料的流量进行变更；气液分离箱部，该气液分离箱部将由所述混合部生成的所述混合液体气液分离成向使用点供给的供给液体和从排气口排出的排出气体；阀，该阀调整开度，以决定所述排出气体的排出量；流量测定部，该流量测定部对从所述气液分离箱部向所述使用点供给的所述供给液体的流量进行测定；以及流量控制部，该流量控制部接收由所述流量测定部测定的所述供给液体的流量值，生成根据接收到的流量值来控制所述泵部的控制信号，将该控制信号向泵部发送来控制泵，从而对向所述混合部供给的所述第一原料的流量进行调整。
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