[发明专利]供给液体制造装置及供给液体制造方法

权利要求书

1.一种供给液体制造装置，其特征在于，具备：

混合部，该混合部混合第一原料与第二原料而生成混合液体；

泵部，该泵部对向所述混合部供给的所述第一原料的流量进行变更；

气液分离箱部，该气液分离箱部将由所述混合部生成的所述混合液体气液分离成向使用点供给的供给液体和从排气口排出的排出气体；

第一流量测定部，该第一流量测定部对从所述气液分离箱部向所述使用点供给的所述供给液体的流量进行测定；

排气阀，该排气阀对从所述排气口排出的所述排出气体的排出量进行调整；以及

排气控制部，该排气控制部根据由所述第一流量测定部测定的所述供给液体的流量，控制所述排气阀，对从所述排气口排出的所述排出气体的排出量进行调整，以将向所述使用点供给的所述供给液体的流量保持为恒定流量，

在由所述第一流量测定部测定的所述供给液体的流量与所述恒定流量相比增加的情况下，所述排气控制部使从所述排气口排出的所述排出气体的排出量增加，在由所述第一流量测定部测定的所述供给液体的流量与所述恒定流量相比减少的情况下，所述排气控制部使从所述排气口排出的所述排出气体的排出量减少。

2.根据权利要求1所述的供给液体制造装置，其特征在于，

具备流量控制部，该流量控制部根据由所述第一流量测定部测定的所述供给液体的流量，控制所述泵部，对向所述混合部供给的所述第一原料的流量进行调整，

所述流量控制部进行控制，以使得由所述第一流量测定部测定的所述供给液体的流量与向所述混合部供给的所述第一原料的流量相等。

3.根据权利要求2所述的供给液体制造装置，其特征在于，

具备第二流量测定部，该第二流量测定部对向所述混合部供给的所述第一原料的流量进行测定。

4.根据权利要求2所述的供给液体制造装置，其特征在于，

具备液体量测定部，该液体量测定部检测所述气液分离箱部内的液体量，

在由所述液体量测定部测定的所述气液分离箱部内的液体量与规定的液体量相比增加的情况下，所述流量控制部减少向所述混合部供给的所述第一原料的流量，在由所述液体量测定部测定的所述气液分离箱部内的液体量与规定的液体量相比减少的情况下，所述流量控制部增加向所述混合部供给的所述第一原料的流量。

5.一种供给液体制造方法，其特征在于，包含如下步骤：

由混合部混合第一原料与第二原料而生成混合液体的步骤；

由气液分离箱部将由所述混合部生成的所述混合液体气液分离成向使用点供给的供给液体和从排气口排出的排出气体的步骤；

由第一流量测定部对从所述气液分离箱部向所述使用点供给的所述供给液体的流量进行测定的步骤；以及

根据由所述第一流量测定部测定的所述供给液体的流量，由排气阀对从所述排气口排出的所述排出气体的排出量进行调整，以将向所述使用点供给的所述供给液体的流量保持为恒定流量的步骤，

在对所述排出气体的排出量进行调整的步骤中，在由所述第一流量测定部测定的所述供给液体的流量与所述恒定流量相比增加的情况下，使从所述排气口排出的所述排出气体的排出量增加，在由所述第一流量测定部测定的所述供给液体的流量与所述恒定流量相比减少的情况下，使从所述排气口排出的所述排出气体的排出量减少。