[发明专利]基板搬运用机器人有效
| 申请号： | 201780006431.0 | 申请日： | 2017-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN108463420B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 金兑炫;金锺郁;韩盛旭;姜闰植 | 申请（专利权）人： | 现代重工集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G47/90;B25J11/00;B25J18/04;H01L21/677;F16H25/20;F16H25/22;F16H9/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李洋;王培超 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了基板搬运用机器人。本发明所涉及的基板搬运用机器人中，升降部的滚珠丝杠被固定，滚珠螺母以能够旋转的方式设置于滚珠丝杠并且随着正反转而沿着滚珠丝杠升降，并且基板支撑部通过滚珠螺母的升降而升降。这样一来，长度较长的滚珠丝杠不旋转，因此防止滚珠丝杠由于振动旋转而受损，由此能够将滚珠丝杠的长度形成得相对较长。因此，能够起到在提高基板支撑部的升降高度的方面，能够相对较少地受到限制的效果。另外，由于滚珠丝杠不旋转，所以能够起到容易设置滚珠丝杠的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 基板搬 运用 机器人 | ||
【主权项】：
1.一种基板搬运用机器人，其特征在于，包括：直线运动部，以能够进行直线运动的方式设置；旋转运动部，一侧被所述直线运动部支撑，与所述直线运动部一起运动，并且设置为能够以被所述直线运动部支撑的部位为基准旋转；支撑部，下端部侧被所述旋转运动部的另一侧支撑，与所述旋转运动部一起运动；升降部，具有滚珠丝杠和滚珠螺母，所述滚珠丝杠的下端部侧及上端部侧被所述支撑部支撑并固定，所述滚珠螺母以能够旋转的方式设置于所述滚珠丝杠，并随着旋转而沿着所述滚珠丝杠升降；以及基板支撑部，连结于所述滚珠螺母侧，与所述滚珠螺母一起升降，并支撑基板。
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