[发明专利]基板搬运用机器人

说明书

本发明公开了基板搬运用机器人。本发明所涉及的基板搬运用机器人中，升降部的滚珠丝杠被固定，滚珠螺母以能够旋转的方式设置于滚珠丝杠并且随着正反转而沿着滚珠丝杠升降，并且基板支撑部通过滚珠螺母的升降而升降。这样一来，长度较长的滚珠丝杠不旋转，因此防止滚珠丝杠由于振动旋转而受损，由此能够将滚珠丝杠的长度形成得相对较长。因此，能够起到在提高基板支撑部的升降高度的方面，能够相对较少地受到限制的效果。另外，由于滚珠丝杠不旋转，所以能够起到容易设置滚珠丝杠的效果。

技术领域

本发明涉及一种搬运基板的基板搬运用机器人。

背景技术

机器人(Robot)通过控制装置执行作业所需的程序从而根据目的执行作业，在多种产业领域中被广泛使用。

基板搬运用机器人在半导体制造领域或平板显示装置制造领域等中被广泛使用，用于将载置在盒子(Cassette)的基板运向基板处理装置，或者将基板处理装置的基板运向盒子，或者将基板从任一个基板处理装置运向另一个基板处理装置。

一般而言，基板搬运用机器人包括：直线运动部，设置于在作业场所的地板等设置的移送轨道，并且设置为能够沿着与地板平行的方向进行直线运动；旋转运动部，一端部侧被上述直线运动部支撑，与上述直线运动部一起运动，并且设置为能够以被上述直线运动部支撑的部位为基准旋转；支撑部，下端部侧被上述旋转运动部的另一端部侧支撑，与上述旋转运动部一起运动，并与上述直线运动部大致垂直；升降部，以能够升降的方式设置于上述支撑部；以及多轴多关节结构的基板支撑部，设置于上述升降部，与上述升降部一起运动，并支撑基板。

并且，上述升降部包括：驱动马达；滚珠丝杠(Ball Screw)，通过上述驱动马达进行旋转；以及滚珠螺母，设置于上述滚珠丝杠，并且随着上述滚珠丝杠进行旋转而升降。并且，上述基板支撑部被支撑设置在上述滚珠螺母侧，与上述滚珠螺母一起升降。即，就上述升降部而言，使上述滚珠丝杠旋转，上述滚珠螺母通过上述滚珠丝杠的旋转而升降由此使上述基板支撑部升降。

如上所述的现有的基板搬运用机器人，存在在提高上述基板支撑部的升降高度的方面相对受限的缺点。详细而言，为了提高上述基板支撑部的升降高度，需要使上述滚珠丝杠的长度变长。但是由于上述滚珠丝杠进行旋转，所以因上述滚珠丝杠旋转时发生的振动旋转而在使上述滚珠丝杠的长度变长的方面相对受限。因此，在提高上述基板支撑部的升降高度的方面受限。

并且，为了防止由于在上述滚珠丝杠旋转时发生的振动旋转导致上述滚珠丝杠受损，需要均衡地设置上述滚珠丝杠，因此设置不方便。

与基板搬运用机器人相关的现有技术，在韩国公开实用新型公报第20-2013-0005884号(2013.10.10)等中公开。

发明内容

本发明的目的可以是提供一种能够解决如上所述的现有技术中存在的所有问题的基板搬运用机器人。

并且，本发明的另一目的可以是提供一种能够在提高基板支撑部的升降高度的方面相对较少地受限的基板搬运用机器人。

并且，本发明的又一目的可以是提供一种能够简便地设置滚珠丝杠的基板搬运用机器人。

本发明所涉及的基板搬运用机器人可以包括：直线运动部，以能够进行直线运动的方式设置；旋转运动部，一侧被上述直线运动部支撑，与上述直线运动部一起运动，并且设置为能够以被上述直线运动部支撑的部位为基准旋转；支撑部，下端部侧被上述旋转运动部的另一侧支撑，与上述旋转运动部一起运动；升降部，具有滚珠丝杠和滚珠螺母，滚珠丝杠的下端部侧及上端部侧被上述支撑部支撑并固定，滚珠螺母以能够旋转的方式设置于上述滚珠丝杠，并随着旋转而沿着上述滚珠丝杠升降；基板支撑部，连结于上述滚珠螺母侧，与上述滚珠螺母一起升降，并支撑基板。