[发明专利]基板搬运用机器人

权利要求书

1.一种基板搬运用机器人，其特征在于，

包括：

直线运动部，以能够进行直线运动的方式设置；

旋转运动部，一侧被所述直线运动部支撑，与所述直线运动部一起运动，并且设置为能够以被所述直线运动部支撑的部位为基准旋转；

支撑部，下端部侧被所述旋转运动部的另一侧支撑，与所述旋转运动部一起运动；

升降部，具有滚珠丝杠和滚珠螺母，所述滚珠丝杠的下端部侧及上端部侧被所述支撑部支撑并固定，所述滚珠螺母以能够旋转的方式设置于所述滚珠丝杠，并随着旋转而沿着所述滚珠丝杠升降；以及

基板支撑部，连结于所述滚珠螺母侧，与所述滚珠螺母一起升降，并支撑基板；

所述升降部还包括导轨和第一升降块，所述导轨设置于所述支撑部，所述第一升降块设置于所述导轨，沿着所述导轨升降，并且与所述升降部的壳体结合；

其中，支撑所述滚珠丝杠的支撑模块以能够沿着所述滚珠丝杠升降的方式设置于所述滚珠丝杠，并且所述支撑模块被所述导轨侧支撑。

2.根据权利要求1所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

所述升降部还包括：

轴承，内圈与所述滚珠螺母的外周面结合，与所述滚珠螺母一起升降；

所述壳体，结合于所述轴承的外圈，与所述基板支撑部结合，并与所述轴承一起升降；以及

驱动马达，设置于所述壳体的内部并使所述滚珠螺母旋转。

3.根据权利要求1所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

所述支撑模块将所述滚珠丝杠划分为多个区域。

4.根据权利要求1所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

所述支撑模块的一侧部位与所述升降部接触，并通过所述升降部而升降。

5.根据权利要求1所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

所述支撑模块经由动力传递模块而与所述滚珠螺母连结，并与所述滚珠螺母联动地升降。

6.根据权利要求1所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

所述支撑模块包括：

支撑部件，具有支撑管和连结部，所述支撑管以分别包围所述滚珠丝杠的位于所述滚珠螺母的上侧和下侧的部位的方式设置，所述连结部将所述支撑管连结；

衬套，分别设置于所述支撑管的内周面并与所述滚珠丝杠接触；以及

第二升降块，以能够升降的方式设置于所述导轨，并与所述支撑部件结合。

7.根据权利要求2所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

在所述滚珠螺母和所述驱动马达的旋转轴分别形成有通过带而相互连结的带轮，

所述滚珠螺母的所述带轮具有相互划分的第一带轮和第二带轮，并且

所述驱动马达设置有两个而使所述第一带轮和所述第二带轮分别旋转。

8.根据权利要求1所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

所述升降部以能够沿着所述支撑部的长度方向升降的方式支撑设置于所述支撑部，

在所述支撑部的内部形成有相互划分的多个空间，并且

在所述支撑部的被划分的各空间分别设置有所述升降部的一部分。

9.根据权利要求8所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

所述支撑部的被划分的各空间中的至少一个空间未设置所述升降部的一部分，并且

所述支撑部的设置有所述升降部的一部分的被划分的各空间被密封。

10.根据权利要求9所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

所述支撑部的未设置所述升降部的一部分的空间被划分为清洁空间和非清洁空间。

11.根据权利要求10所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

所述非清洁空间与所述支撑部的设置有所述升降部的一部分的被划分的空间中的任一个空间连通。