[实用新型]CMP不锈钢快速抛光设备有效

专利信息
申请号: 201721928191.3 申请日: 2017-12-21
公开(公告)号: CN207788605U 公开(公告)日: 2018-08-31
发明(设计)人: 吕鸿图 申请(专利权)人: 昆山纳诺新材料科技有限公司
主分类号: B24B29/02 分类号: B24B29/02;B24B27/00;C23F3/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了CMP不锈钢快速抛光设备,包括机械抛光室以及化学抛光室,机械抛光室以及化学抛光室的底部均设置有传送皮带,机械抛光室以及化学抛光室之间通过传送皮带传动连接,传送皮带的左侧设置有转动轴,转动轴与传送皮带嵌套连接,传送皮带的顶部设置有挡板,挡板与传送皮带一体化成型,机械抛光室的内部设置有抛光头,抛光头的底部两侧设置有矩形倒齿,抛光头的顶部设置有万向轴,万向轴的中间位置设置有液压伸缩杆,液压伸缩杆的顶部设置有套杆,套杆的顶端连接到驱动电机,抛光头与驱动电机之间通过传动杆相连,传动杆贯穿设置于抛光头的内部,该种CMP不锈钢快速抛光设备,使用较为方便,抛光效果较好,整体效率较高。
搜索关键词: 传送皮带 抛光头 机械抛光 顶部设置 化学抛光 抛光设备 不锈钢 液压伸缩杆 挡板 驱动电机 传动杆 万向轴 转动轴 套杆 本实用新型 一体化成型 传动连接 顶端连接 两侧设置 内部设置 抛光效果 嵌套连接 整体效率 倒齿 贯穿
【主权项】:
1.CMP不锈钢快速抛光设备,包括机械抛光室(3)以及化学抛光室(14),其特征在于:所述机械抛光室(3)以及所述化学抛光室(14)的底部均设置有传送皮带,所述机械抛光室(3)以及所述化学抛光室(14)之间通过传送皮带传动连接,所述传送皮带的左侧设置有转动轴(1),所述转动轴(1)与所述传送皮带嵌套连接,所述传送皮带的顶部设置有挡板(2),所述挡板(2)与所述传送皮带一体化成型,所述机械抛光室(3)的内部设置有抛光头(6),所述抛光头(6)采用钨钢材料制作而成,所述抛光头(6)的底部两侧设置有矩形倒齿(8),所述抛光头(6)的顶部设置有万向轴(7),所述万向轴(7)的中间位置设置有液压伸缩杆(5),所述液压伸缩杆(5)与所述万向轴(7)之间通过螺栓固定连接,所述液压伸缩杆(5)的顶部设置有套杆(4),所述套杆(4)的顶端连接到驱动电机,所述抛光头(6)与所述驱动电机之间通过传动杆相连,所述传动杆贯穿设置于所述抛光头(6)的内部。
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