[实用新型]CMP不锈钢快速抛光设备有效
| 申请号： | 201721928191.3 | 申请日： | 2017-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN207788605U | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 吕鸿图 | 申请（专利权）人： | 昆山纳诺新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B27/00;C23F3/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 传送皮带 抛光头 机械抛光 顶部设置 化学抛光 抛光设备 不锈钢 液压伸缩杆 挡板 驱动电机 传动杆 万向轴 转动轴 套杆 本实用新型 一体化成型 传动连接 顶端连接 两侧设置 内部设置 抛光效果 嵌套连接 整体效率 倒齿 贯穿 | ||
1.CMP不锈钢快速抛光设备，包括机械抛光室(3)以及化学抛光室(14)，其特征在于：所述机械抛光室(3)以及所述化学抛光室(14)的底部均设置有传送皮带，所述机械抛光室(3)以及所述化学抛光室(14)之间通过传送皮带传动连接，所述传送皮带的左侧设置有转动轴(1)，所述转动轴(1)与所述传送皮带嵌套连接，所述传送皮带的顶部设置有挡板(2)，所述挡板(2)与所述传送皮带一体化成型，所述机械抛光室(3)的内部设置有抛光头(6)，所述抛光头(6)采用钨钢材料制作而成，所述抛光头(6)的底部两侧设置有矩形倒齿(8)，所述抛光头(6)的顶部设置有万向轴(7)，所述万向轴(7)的中间位置设置有液压伸缩杆(5)，所述液压伸缩杆(5)与所述万向轴(7)之间通过螺栓固定连接，所述液压伸缩杆(5)的顶部设置有套杆(4)，所述套杆(4)的顶端连接到驱动电机，所述抛光头(6)与所述驱动电机之间通过传动杆相连，所述传动杆贯穿设置于所述抛光头(6)的内部。
2.根据权利要求1所述的CMP不锈钢快速抛光设备，其特征在于：所述抛光头(6)的数量为四个，所述抛光头(6)呈两列水平设置。
3.根据权利要求1所述的CMP不锈钢快速抛光设备，其特征在于：所述化学抛光室(14)的内部设置有一对基座(10)，所述基座(10)的底部设置有接触座(11)，所述接触座(11)以及所述基座(10)的内部均设置有抛光液输送管(9)。
4.根据权利要求1所述的CMP不锈钢快速抛光设备，其特征在于：所述化学抛光室(14)的底部设置有旋转座(13)，所述旋转座(13)顶部设置有若干垫片(12)，所述垫片(12)采用聚四氟乙烯材料制作而成。
5.根据权利要求4所述的CMP不锈钢快速抛光设备，其特征在于：所述旋转座(13)呈螺旋状，所述旋转座(13)的顶部设置有进料口(16)。
6.根据权利要求5所述的CMP不锈钢快速抛光设备，其特征在于：所述旋转座(13)的右侧设置有出料口(15)，所述进料口(16)以及所述出料口(15)之间的高度差为30cm。
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