[实用新型]一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池硒化炉的布气结构有效

专利信息
申请号: 201721911113.2 申请日: 2017-12-30
公开(公告)号: CN207958476U 公开(公告)日: 2018-10-12
发明(设计)人: 彭春超;蒋继文;朱登华;刘小雨 申请(专利权)人: 凯盛光伏材料有限公司
主分类号: C23C8/08 分类号: C23C8/08
代理公司: 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 代理人: 杨晋弘
地址: 233010 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型提供一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池硒化炉的布气结构,它包括硒化炉(1),其特征在于:在硒化炉(1)的至少一面侧壁上设有一组排气孔(2),在硒化炉(1)另一侧的炉壁内设有喷气管(3),在喷气管(3)一侧的炉壁上设有RF辅助加热器(4)。本实用新型结构简单、使用方便、喷气均匀,有效的避免了喷气管正下方工艺气体浓度过高的问题。
搜索关键词: 硒化炉 喷气管 铜铟镓硒薄膜太阳能电池 本实用新型 布气结构 炉壁 辅助加热器 工艺气体 排气孔 侧壁
【主权项】:
1.一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池硒化炉的布气结构,它包括硒化炉(1),其特征在于:在硒化炉(1)的至少一面炉壁上设有一组排气孔(2),在硒化炉(1)顶部炉壁内设有至少两根喷气管(3),在喷气管(3)一侧的炉壁上设有RF辅助加热器(4),在所述的喷气管(3)上沿其轴向设有至少两组喷气孔。
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