[实用新型]一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池硒化炉的布气结构有效
申请号: | 201721911113.2 | 申请日: | 2017-12-30 |
公开(公告)号: | CN207958476U | 公开(公告)日: | 2018-10-12 |
发明(设计)人: | 彭春超;蒋继文;朱登华;刘小雨 | 申请(专利权)人: | 凯盛光伏材料有限公司 |
主分类号: | C23C8/08 | 分类号: | C23C8/08 |
代理公司: | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人: | 杨晋弘 |
地址: | 233010 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型提供一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池硒化炉的布气结构,它包括硒化炉(1),其特征在于:在硒化炉(1)的至少一面侧壁上设有一组排气孔(2),在硒化炉(1)另一侧的炉壁内设有喷气管(3),在喷气管(3)一侧的炉壁上设有RF辅助加热器(4)。本实用新型结构简单、使用方便、喷气均匀,有效的避免了喷气管正下方工艺气体浓度过高的问题。 | ||
搜索关键词: | 硒化炉 喷气管 铜铟镓硒薄膜太阳能电池 本实用新型 布气结构 炉壁 辅助加热器 工艺气体 排气孔 侧壁 | ||
【主权项】:
1.一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池硒化炉的布气结构,它包括硒化炉(1),其特征在于:在硒化炉(1)的至少一面炉壁上设有一组排气孔(2),在硒化炉(1)顶部炉壁内设有至少两根喷气管(3),在喷气管(3)一侧的炉壁上设有RF辅助加热器(4),在所述的喷气管(3)上沿其轴向设有至少两组喷气孔。
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