[实用新型]一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池硒化炉的布气结构有效
| 申请号： | 201721911113.2 | 申请日： | 2017-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN207958476U | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 彭春超;蒋继文;朱登华;刘小雨 | 申请（专利权）人： | 凯盛光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C8/08 | 分类号： | C23C8/08 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人： | 杨晋弘 |
| 地址： | 233010 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硒化炉 喷气管 铜铟镓硒薄膜太阳能电池 本实用新型 布气结构 炉壁 辅助加热器 工艺气体 排气孔 侧壁 | ||
【权利要求书】：
1.一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池硒化炉的布气结构，它包括硒化炉（1），其特征在于：在硒化炉（1）的至少一面炉壁上设有一组排气孔（2），在硒化炉（1）顶部炉壁内设有至少两根喷气管（3），在喷气管（3）一侧的炉壁上设有RF辅助加热器（4），在所述的喷气管（3）上沿其轴向设有至少两组喷气孔。
2.根据权利要求1中所述的一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池硒化炉的布气结构，其特征在于：所述两组喷气孔（3a）的孔径相同或不同。
3.根据权利要求1中所述的一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池硒化炉的布气结构，其特征在于：所述的喷气管（3）与RF辅助加热器（4）成间隔设置。
4.根据权利要求1中所述的一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池硒化炉的布气结构，其特征在于：所述的一组排气孔（2）为成排间隔分布或均布在硒化炉（1）的炉壁上。
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