[实用新型]机械手臂有效
| 申请号： | 201721886327.9 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN207669319U | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 刘希飞;阚保国;刘家桦 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00;B25J19/02;B25J9/16 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种机械手臂。所述机械手臂，包括末端执行器，还包括控制器以及与所述控制器连接的至少一传感器；所述传感器，安装于末端执行器表面，用于检测所述末端执行器与晶圆之间的距离并传输至所述控制器；所述控制器，连接所述末端执行器、所述传感器，用于判断所述传感器检测到的距离是否小于预设距离，若是，则控制所述末端执行器停止运动。本实用新型防止了机械手臂对晶圆表面的刮伤，确保了晶圆产品的质量以及成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 末端执行器 机械手臂 控制器 传感器 本实用新型 半导体制造技术 传感器检测 控制器连接 晶圆表面 晶圆产品 停止运动 预设距离 成品率 刮伤 晶圆 传输 检测 | ||
【主权项】：
1.一种机械手臂，包括末端执行器，其特征在于，还包括控制器以及与所述控制器连接的至少一传感器；所述传感器，安装于末端执行器表面，用于检测所述末端执行器与晶圆之间的距离并传输至所述控制器；所述控制器，连接所述末端执行器、所述传感器，用于判断所述传感器检测到的距离是否小于预设距离，若是，则控制所述末端执行器停止运动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于德淮半导体有限公司，未经德淮半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721886327.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种机械夹持臂
- 下一篇：一种六轴工业机器人拆装实训平台圆柱模型抓手机构
