[实用新型]机械手臂有效
| 申请号： | 201721886327.9 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN207669319U | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 刘希飞;阚保国;刘家桦 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00;B25J19/02;B25J9/16 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 末端执行器 机械手臂 控制器 传感器 本实用新型 半导体制造技术 传感器检测 控制器连接 晶圆表面 晶圆产品 停止运动 预设距离 成品率 刮伤 晶圆 传输 检测 | ||
1.一种机械手臂，包括末端执行器，其特征在于，还包括控制器以及与所述控制器连接的至少一传感器；所述传感器，安装于末端执行器表面，用于检测所述末端执行器与晶圆之间的距离并传输至所述控制器；所述控制器，连接所述末端执行器、所述传感器，用于判断所述传感器检测到的距离是否小于预设距离，若是，则控制所述末端执行器停止运动。
2.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，至少一传感器包括多个传感器，且多个传感器均安装于所述末端执行器的两相对表面。
3.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述末端执行器包括相对设置的第一夹持部和第二夹持部，所述第一夹持部用于夹持所述晶圆设置有器件的上表面，所述第二夹持部用于夹持所述晶圆中与所述上表面相对的下表面；至少一传感器包括第一传感器，所述第一传感器安装于所述第一夹持部表面。
4.根据权利要求3所述的机械手臂，其特征在于，所述第一传感器包括多个第一子传感器，多个第一子传感器安装于所述第一夹持部的两相对表面。
5.根据权利要求3所述的机械手臂，其特征在于，至少一传感器还包括第二传感器，且所述第二传感器安装于所述第二夹持部表面。
6.根据权利要求5所述的机械手臂，其特征在于，所述第二传感器包括多个第二子传感器，多个第二子传感器安装于所述第二夹持部的两相对表面。
7.根据权利要求6所述的机械手臂，其特征在于，所述末端执行器还包括用于连接所述第一夹持部和所述第二夹持部的连接部；至少一传感器还包括第三传感器，且所述第三传感器安装于所述连接部表面。
8.根据权利要求7所述的机械手臂，其特征在于，所述第三传感器包括多个第三子传感器，多个第三子传感器安装于所述连接部的两相对表面。
9.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述传感器为超声波传感器。
10.根据权利要求9所述的机械手臂，其特征在于，所述控制器还用于检测所述末端执行器是否夹持晶圆，若否，则控制所述超声波传感器发射超声波信号，以检测所述末端执行器与所述晶圆之间的距离。
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