[实用新型]一种精确进针的四探针测试仪有效
| 申请号： | 201721792688.7 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN207623414U | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 李锐;鲁远甫;魏广路;邹建雄;焦国华;吕建成 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;G01R31/00 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种精确进针的四探针测试仪，通过其进针监控系统中的显微镜对进针进行监控，从而实现精确进针，可避免探针扎破薄膜型的待测样品而发生误测，所述四探针测试仪可通过其真空系统为待测样品提供高真空环境，而且其配置的温控系统能在稳定且连续的温度变化下，对待测样品进行加热，从而能精确且便捷地测出待测样品的在温度变化下的方阻、电阻率和电阻温度系数等电学性能参数。 | ||
| 搜索关键词： | 进针 四探针测试仪 待测样品 电学性能参数 电阻温度系数 本实用新型 高真空环境 监控系统 温控系统 真空系统 薄膜型 电阻率 配置的 显微镜 方阻 探针 扎破 加热 监控 | ||
【主权项】：
1.一种精确进针的四探针测试仪，其特征在于，包括测量系统(1)、进针监控系统(2)、真空系统(3)和温控系统(4)，其中，所述测量系统(1)包括载物台(11)、四探针模块(12)、探针控制台(13)和驱动电机(14)，所述载物台(11)用于承载待测样品(10)，所述四探针模块(12)包括四个探针(121)、分别连接在相邻两个探针(121)上的恒流源(122)以及分别连接在另外两个探针上的电压表(123)，所述探针控制台(13)的数目为四个，所述四个探针(121)分别一一对应地固定在四个探针控制台(13)上，所述探针控制台(13)用于在所述驱动电机(14)的驱动下，控制所述四探针模块(12)测量所述待测样品(10)；所述进针监控系统(2)包括显微镜，所述显微镜用于对所述四探针模块(12)的进针进行观测；所述真空系统(3)包括密封腔体(31)和机械泵(32)，所述载物台(11)容纳于所述密封腔体(31)内，所述机械泵(32)连接在所述密封腔体(31)上，用于调节所述密封腔体(31)内的气压；所述温控系统(4)包括热源(41)，所述热源(41)与所述载物台(11)连接，用于通过所述载物台(11)对所述待测样品(10)进行加热。
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