[实用新型]一种精确进针的四探针测试仪

权利要求书

1.一种精确进针的四探针测试仪，其特征在于，包括测量系统(1)、进针监控系统(2)、真空系统(3)和温控系统(4)，其中，

所述测量系统(1)包括载物台(11)、四探针模块(12)、探针控制台(13)和驱动电机(14)，所述载物台(11)用于承载待测样品(10)，所述四探针模块(12)包括四个探针(121)、分别连接在相邻两个探针(121)上的恒流源(122)以及分别连接在另外两个探针上的电压表(123)，所述探针控制台(13)的数目为四个，所述四个探针(121)分别一一对应地固定在四个探针控制台(13)上，所述探针控制台(13)用于在所述驱动电机(14)的驱动下，控制所述四探针模块(12)测量所述待测样品(10)；

所述进针监控系统(2)包括显微镜，所述显微镜用于对所述四探针模块(12)的进针进行观测；

所述真空系统(3)包括密封腔体(31)和机械泵(32)，所述载物台(11)容纳于所述密封腔体(31)内，所述机械泵(32)连接在所述密封腔体(31)上，用于调节所述密封腔体(31)内的气压；

所述温控系统(4)包括热源(41)，所述热源(41)与所述载物台(11)连接，用于通过所述载物台(11)对所述待测样品(10)进行加热。

2.根据权利要求1所述的四探针测试仪，其特征在于，所述进针监控系统(2)还包括与所述显微镜电性连接的显示屏(22)，所述显微镜通过采集所述四探针模块(12)进针的图像信息，并将所述图像信息发送至所述显示屏(22)上进行显示。

3.根据权利要求2所述的四探针测试仪，其特征在于，所述进针监控系统(2)还包括分别与所述显示屏(22)和驱动电机(14)电性连接的主控制模块，所述主控制模块用于对所述四探针模块(12)进针的图像信息进行分析，获得所述四探针模块(12)的探针(121)与所述待测样品(10)的表面之间的距离信息，并根据所述距离信息控制所述驱动电机(14)对所述探针控制台(13)的驱动。

4.根据权利要求1所述的四探针测试仪，其特征在于，所述密封腔体(31)上设置有透明观测窗(311)，用于供所述显微镜的观测视野透过所述密封腔体(31)。

5.根据权利要求1所述的四探针测试仪，其特征在于，所述密封腔体(31) 的内部空间中设置有照明灯具(312)。

6.根据权利要求1-5任一所述的四探针测试仪，其特征在于，所述显微镜为金相显微镜。

7.根据权利要求1所述的四探针测试仪，其特征在于，所述探针控制台(13)上设置有三个微调旋钮(131)，三个所述微调旋钮(131)分别用于控制所述探针控制台(13)在三维方向上的移动。

8.根据权利要求1所述的四探针测试仪，其特征在于，所述真空系统(3)还包括气压计(33)，所述气压计(33)连接在所述密封腔体(31)上，与所述密封腔体(31)的内部空间连通。

9.根据权利要求1或8所述的四探针测试仪，其特征在于，所述真空系统(3)还包括空气阀，所述空气阀连接在所述密封腔体(31)上，与所述密封腔体(31)的内部空间连通。

10.根据权利要求1所述的四探针测试仪，其特征在于，所述温控系统(4)还包括热电偶(42)和加热控制模块(43)，所述热电偶(42)连接在所述载物台(11)上，用于测定所述待测样品(10)的温度，所述加热控制模块(43)分别与所述热源(41)和热电偶(42)电性连接，用于通过调节所述热源(41)的电流，以调节所述待测样品(10)的升温速率。