[实用新型]一种精确进针的四探针测试仪

说明书

本实用新型公开了一种精确进针的四探针测试仪，通过其进针监控系统中的显微镜对进针进行监控，从而实现精确进针，可避免探针扎破薄膜型的待测样品而发生误测，所述四探针测试仪可通过其真空系统为待测样品提供高真空环境，而且其配置的温控系统能在稳定且连续的温度变化下，对待测样品进行加热，从而能精确且便捷地测出待测样品的在温度变化下的方阻、电阻率和电阻温度系数等电学性能参数。

技术领域

本实用新型涉及一种四探针测试仪,尤其涉及一种精确进针的四探针测试仪。

背景技术

目前的市场上的四探针测试仪的功能较为单一，普遍无法实现真空的测量环境，且缺少配套的加热装置，尤其无法满足相变型材料的电阻测量，而当需要利用这类四探针测试仪对薄膜型材料的方阻、电阻率、电阻温度系数(TCR) 等电学性能参数进行测量时，由于薄膜型材料的厚度较小，一般仅为几十纳米到一百纳米左右，故四探针测试仪的探针极易扎破薄膜，使其误测到基底的电学性能参数。

实用新型内容

鉴于现有技术的不足，本实用新型提供了一种精确进针的四探针测试仪，以解决上述问题。

为了实现上述目的，本实用新型采取了以下的技术方案：

一种精确进针的四探针测试仪，包括测量系统、进针监控系统、真空系统和温控系统，其中，所述测量系统包括载物台、四探针模块、探针控制台和驱动电机，所述载物台用于承载待测样品，所述四探针模块包括四个探针、分别连接在相邻两个探针上的恒流源以及分别连接在另外两个探针上的电压表，所述探针控制台的数目为四个，所述四个探针分别一一对应地固定在四个探针控制台上，所述探针控制台用于在所述驱动电机的驱动下，控制所述四探针模块测量所述待测样品。所述进针监控系统包括显微镜，所述显微镜用于对所述四探针模块的进针进行观测。所述真空系统包括密封腔体和机械泵，所述载物台容纳于所述密封腔体内，所述机械泵连接在所述密封腔体上，用于调节所述密封腔体内的气压。所述温控系统包括热源，所述热源与所述载物台连接，用于通过所述载物台对所述待测样品进行加热。

优选地，所述进针监控系统还包括与所述显微镜电性连接的显示屏，所述显微镜通过采集所述四探针模块进针的图像信息，并将所述图像信息发送至所述显示屏上进行显示。

优选地，所述进针监控系统还包括分别与所述显示屏和驱动电机电性连接的主控制模块，所述主控制模块用于对所述四探针模块进针的图像信息进行分析，获得所述四探针模块的探针与所述待测样品的表面之间的距离信息，并根据所述距离信息控制所述驱动电机对所述探针控制台的驱动。

优选地，所述密封腔体上设置有透明观测窗，用于供所述显微镜的观测视野透过所述密封腔体。

优选地，所述密封腔体的内部空间中设置有照明灯具。

优选地，所述显微镜为金相显微镜。

优选地，所述探针控制台上设置有三个微调旋钮，三个所述微调旋钮分别用于控制所述探针控制台在三维方向上的移动。

优选地，所述真空系统还包括气压计，所述气压计连接在所述密封腔体上，与所述密封腔体的内部空间连通。

优选地，所述真空系统还包括空气阀，所述空气阀连接在所述密封腔体上，与所述密封腔体的内部空间连通。

优选地，所述温控系统还包括热电偶和加热控制模块，所述热电偶连接在所述载物台上，用于测定所述待测样品的温度，所述加热控制模块分别与所述热源和热电偶电性连接，用于通过调节所述热源的电流，以调节所述待测样品的升温速率。