[实用新型]一种自动化移植板高低差检测仪器有效
| 申请号： | 201721781801.1 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN207556476U | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 胡茂尚 | 申请（专利权）人： | 昆山昆尚电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/22 | 分类号： | G01B11/22 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 张欢勇 |
| 地址： | 215316 江苏省苏州市玉山镇寰庆*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种自动化移植板高低差检测仪器，其本自动化移植板高低差检测仪器包括终端控制设备、固定台面，将所述固定台面所在平面内互相垂直的两条直线分别定义为X轴和Y轴，固定台面上设有X‑Y轴运动系统和对位补偿板；所述X‑Y轴运动系统包括设置在固定台面上的第一平移轨道，和滑配于该第一平移轨道上、并与第一平移轨道垂直的滑架，所述滑架上设有垂直于第一平移轨道的第二平移轨道，所述第二平移轨道上滑配有光耦测量仪。本自动化移植板高低差检测仪器经过简单的参数设定，由程式自动控制量测位置，电脑快速计算后，得到高度差结果，并可以自动判断OK/NG、主要精度由光电感应零件决定，一般可达到5um以内。 | ||
| 搜索关键词： | 平移轨道 高低差 移植板 自动化 检测 固定台面 固定台 滑架 终端控制设备 本实用新型 自动控制量 参数设定 对位补偿 光电感应 互相垂直 快速计算 所在平面 自动判断 测量仪 垂直的 高度差 光耦 滑配 上滑 垂直 电脑 | ||
【主权项】：
1.一种自动化移植板高低差检测仪器，其特征是：包括终端控制设备(1)、固定台面(2)，将所述固定台面(2)所在平面内互相垂直的两条直线分别定义为X轴和Y轴，固定台面(2)上设有X‑Y轴运动系统(3)和对位补偿板(4)；所述X‑Y轴运动系统(3)包括设置在固定台面(2)上的第一平移轨道(301)，和滑配于该第一平移轨道(301)上、并与第一平移轨道(301)垂直的滑架(302)，所述滑架(302)上设有垂直于第一平移轨道(301)的第二平移轨道(303)，所述第二平移轨道(303)上滑配有光耦测量仪(304)，所述滑架(302)和光耦测量仪(304)上均设有驱动步进电机，驱动步进电机与所述终端控制设备(1)连接。
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