[实用新型]一种自动化移植板高低差检测仪器

说明书

本实用新型涉及一种自动化移植板高低差检测仪器，其本自动化移植板高低差检测仪器包括终端控制设备、固定台面，将所述固定台面所在平面内互相垂直的两条直线分别定义为X轴和Y轴，固定台面上设有X‑Y轴运动系统和对位补偿板；所述X‑Y轴运动系统包括设置在固定台面上的第一平移轨道，和滑配于该第一平移轨道上、并与第一平移轨道垂直的滑架，所述滑架上设有垂直于第一平移轨道的第二平移轨道，所述第二平移轨道上滑配有光耦测量仪。本自动化移植板高低差检测仪器经过简单的参数设定，由程式自动控制量测位置，电脑快速计算后，得到高度差结果，并可以自动判断OK/NG、主要精度由光电感应零件决定，一般可达到5um以内。

技术领域

本实用新型涉及测量设备器技术领域，特别涉及一种自动化移植板高低差检测仪器。

背景技术

现有高低差量测设备，通常采用数字显示式深度规，透过两次量测进行差值计算得出，此技术存在量测速度慢、无法连续输出结果的缺陷，无法满足全面检测的需求，并且只能进行抽样检测，另外由于深度规自身的不足，探测头比较大，带来的误差也比较大，同时测量过程需要人为的计算判断，容易产生误差甚至错误，从而导致量测精度较差。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是如何克服现有技术的上述缺陷，提供一种自动化移植板高低差检测仪器。

为解决上述技术问题，本自动化移植板高低差检测仪器包括终端控制设备、固定台面，将所述固定台面所在平面内互相垂直的两条直线分别定义为X轴和Y轴，固定台面上设有X-Y轴运动系统和对位补偿板；所述X-Y轴运动系统包括设置在固定台面上的第一平移轨道，和滑配于该第一平移轨道上、并与第一平移轨道垂直的滑架，所述滑架上设有垂直于第一平移轨道的第二平移轨道，所述第二平移轨道上滑配有光耦测量仪，所述滑架和光耦测量仪上均设有驱动步进电机，驱动步进电机与所述终端控制设备连接。

作为优化，所述光耦测量仪为一带有固定架的CCD摄像头。

作为优化，所述对位补偿板设置在所述固定台面，对位补偿板的台面平行于所述固定台面的台面。

作为优化，所述对位补偿板和固定台面之间设有升降装置。

作为优化，所述升降装置包括单片机和伺服电机，其中单片机与所述终端控制设备通讯，所述伺服电机的输出轴固定在所述对位补偿板下表面。

作为优化，所述终端控制设备为一装有控制软件的电脑，所述光耦测量仪通过网络或蓝牙与所述终端控制设备通信。

本实用新型一种自动化移植板高低差检测仪器机械结构简单、制造成本低廉、量测速度快、量测精度高等优点，经过简单的参数设定，由程式自动控制量测位置，电脑快速计算后，得到高度差结果，并可以自动判断OK/NG、主要精度由光电感应零件决定，一般可达到5um以内，满足并高于目前移植板所需要的精度要求。

附图说明

下面结合附图对本实用新型一种自动化移植板高低差检测仪器作进一步说明：

图1是本自动化移植板高低差检测仪器的线框结构示意图；

图2是本自动化移植板高低差检测仪器的平面结构示意图

图中：1-终端控制设备、2-固定台面、3-X-Y轴运动系统、301-第一平移轨道、302-滑架、303-第二平移轨道、304-光耦测量仪、4-对位补偿板、401-升降装置、411-单片机、412-伺服电机。

具体实施方式