[实用新型]一种真空测量装置有效
| 申请号： | 201721758220.6 | 申请日： | 2017-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN207832378U | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 赵青松;南建辉 | 申请（专利权）人： | 北京创昱科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 102209 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及真空规技术领域，尤其涉及一种真空测量装置，包括沿压力传导方向依次设置的前级腔室和真空规，前级腔室与真空规连通，前级腔室内设有前级隔膜，真空规内设有测量隔膜，前级隔膜与测量隔膜之间形成压力传导腔，压力传导腔内填充有压力传导液。本实用新型的压力传导液体可用于有腐蚀性气体的真空环境中，避免造成真空规的测量隔膜被腐蚀的问题，也避免真空环境中的易沉积物质在真空规内壁和测量隔膜上沉积，引起测量隔膜变形，影响真空度的检验精度的问题；即使沉积物质会造成前级腔室入口的堵塞，造成前级隔膜变形，也不会影响检测精度，即使腐蚀性气体造成前级隔膜损坏，位于前级腔室中也便于前级隔膜更换，不会影响到后续真空规。 | ||
| 搜索关键词： | 前级 真空规 测量隔膜 压力传导 沉积 隔膜 腔室 真空测量装置 本实用新型 腐蚀性气体 真空环境 变形 压力传导方向 隔膜更换 隔膜损坏 腔内填充 腔室入口 依次设置 影响检测 影响真空 传导液 有压力 可用 内壁 连通 堵塞 腐蚀 室内 检验 | ||
【主权项】：
1.一种真空测量装置，其特征在于：包括沿压力传导方向依次设置的前级腔室和真空规，所述前级腔室与所述真空规连通，所述前级腔室内设有前级隔膜，所述真空规内设有测量隔膜，所述前级隔膜与所述测量隔膜之间形成压力传导腔，所述压力传导腔内填充有压力传导液。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京创昱科技有限公司，未经北京创昱科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721758220.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
