[实用新型]一种真空测量装置

说明书

本实用新型涉及真空规技术领域，尤其涉及一种真空测量装置，包括沿压力传导方向依次设置的前级腔室和真空规，前级腔室与真空规连通，前级腔室内设有前级隔膜，真空规内设有测量隔膜，前级隔膜与测量隔膜之间形成压力传导腔，压力传导腔内填充有压力传导液。本实用新型的压力传导液体可用于有腐蚀性气体的真空环境中，避免造成真空规的测量隔膜被腐蚀的问题，也避免真空环境中的易沉积物质在真空规内壁和测量隔膜上沉积，引起测量隔膜变形，影响真空度的检验精度的问题；即使沉积物质会造成前级腔室入口的堵塞，造成前级隔膜变形，也不会影响检测精度，即使腐蚀性气体造成前级隔膜损坏，位于前级腔室中也便于前级隔膜更换，不会影响到后续真空规。

技术领域

本实用新型涉及真空测量技术领域，尤其涉及一种真空测量装置。

背景技术

在半导体行业、太阳能行业LED行业、平板显示行业快速发展的今天，有毒材料、易燃易爆材料和腐蚀性材料广泛应用，在生产设备的真空反应腔室和真空排气管道上这些材料大量沉积，还有一些低熔点的副产物也大量沉积。这些材料很容易沉积到安装在真空反应腔室或真空排气管道真空规的内部，严重影响真空测量精度和影响真空规的适用寿命。在这些设备上的真空规一旦出现问题，就要更换新品，很少有维修人员愿意接触这些有剧毒沉积物的真空规。对于某些真空工作环境恶劣又不得不用真空规的设备，真空规变成了一种奢侈的耗材，是困扰不少设备厂家和工厂一个头疼的问题。

普通型真空规适合检测很洁净的真空环境，比如说氮气或空气的环境容器真空度。若真空环境中有腐蚀性气体就会造成真空规的测量隔膜被腐蚀掉，影响真空度的检验；若真空环境中有容易沉积的物质，这些物质会慢慢在真空规检测腔体内壁和真空规测量隔膜上沉积，会造成真空规结头的气流通道堵塞，引起真空规测量隔膜的变形、测量隔膜与精密电容分析原件电容漂移，影响检测精度；若检测腔室是高温气体，高温气体很容易把热传到真空规测量隔膜上，引起真空规测量隔膜的变形，影响测量精度或烧毁真空规的电容分析原件。

目前，市场上已经有耐腐蚀型号的真空规和耐高温型号的真空规，但价格是普通真空规的10倍以上，耐高温一般最高耐温也只有200℃。市场上一直没有真正意义耐沉积的真空规出现，现在也只能是通过提高真空规的工作温度来减少真空规内沉积物产生，但最高加热温度也只有200℃，真空规检测腔体内部一旦有沉积产生，就需要对真空规返厂清洗和维修，费时、费力成本高。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是解决现有的真空规测量装置的测量隔膜上容易产生沉积物，影响测量精度，且难以在高温、腐蚀等极端工况下工作的问题。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种真空测量装置，包括沿压力传导方向依次设置的前级腔室和真空规，所述前级腔室与所述真空规连通，所述前级腔室内设有前级隔膜，所述真空规内设有测量隔膜，所述前级隔膜与所述测量隔膜之间形成压力传导腔，所述压力传导腔内填充有压力传导液。

其中，所述前级腔室与所述真空规通过管道连通。

其中，所述管道包括螺旋状管道和直线状管道。

其中，所述管道上设有散热元件。

其中，所述散热元件为均匀分布的散热翅片。

其中，所述前级腔室上设有所述压力传导液的填充口。

其中，所述真空规内还设有电容元件、电容分析元件和输入输出单元，所述电容元件与所述压力传导液分别位于所述检测隔膜两侧，所述电容分析元件与所述电容元件连接，且通过电极与所述输入输出单元连接。

其中，所述真空规在与所述管道的连通处设有隔热挡板。

其中，还包括吸气剂，所述吸气剂设置于所述真空规内。