[实用新型]一种真空测量装置有效
| 申请号： | 201721758220.6 | 申请日： | 2017-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN207832378U | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 赵青松;南建辉 | 申请（专利权）人： | 北京创昱科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 102209 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 前级 真空规 测量隔膜 压力传导 沉积 隔膜 腔室 真空测量装置 本实用新型 腐蚀性气体 真空环境 变形 压力传导方向 隔膜更换 隔膜损坏 腔内填充 腔室入口 依次设置 影响检测 影响真空 传导液 有压力 可用 内壁 连通 堵塞 腐蚀 室内 检验 | ||
1.一种真空测量装置，其特征在于：包括沿压力传导方向依次设置的前级腔室和真空规，所述前级腔室与所述真空规连通，所述前级腔室内设有前级隔膜，所述真空规内设有测量隔膜，所述前级隔膜与所述测量隔膜之间形成压力传导腔，所述压力传导腔内填充有压力传导液。
2.根据权利要求1所述的真空测量装置，其特征在于：所述前级腔室与所述真空规通过管道连通。
3.根据权利要求2所述的真空测量装置，其特征在于：所述管道包括螺旋状管道和直线状管道。
4.根据权利要求2所述的真空测量装置，其特征在于：所述管道上设有散热元件。
5.根据权利要求4所述的真空测量装置，其特征在于：所述散热元件为均匀分布的散热翅片。
6.根据权利要求1所述的真空测量装置，其特征在于：所述前级腔室上设有所述压力传导液的填充口。
7.根据权利要求1所述的真空测量装置，其特征在于：所述真空规内还设有电容元件、电容分析元件和输入输出单元，所述电容元件与所述压力传导液分别位于所述测量隔膜的两侧，所述电容分析元件与所述电容元件连接，且通过电极与所述输入输出单元连接。
8.根据权利要求2所述的真空测量装置，其特征在于：所述真空规在与所述管道的连通处设有隔热挡板。
9.根据权利要求1所述的真空测量装置，其特征在于：还包括吸气剂，所述吸气剂设置于所述真空规内。
10.根据权利要求1所述的真空测量装置，其特征在于：还包括加热器，所述加热器用于对所述前级腔室加热，加热温度不超过500℃。
11.根据权利要求1-10任意一项所述的真空测量装置，其特征在于：所述压力传导液为甘油或硅油。
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