[实用新型]用于产生等离子体的天线结构体有效
| 申请号： | 201721744926.7 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN207637744U | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 朴宇钟;崔正秀 | 申请（专利权）人： | INVENIA有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 李琳;许向彤 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本实用新型实施例中的用于产生等离子体的天线结构体是被施加高频电力并在处理室内生成等离子体的用于产生等离子体天线结构体，包含以形成至少一个角部的方式弯曲地形成的天线导线，所述角部以与所述角部的两侧连接的边部形成钝角的方式折弯地形成。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 角部 天线结构体 等离子体天线 本实用新型 高频电力 天线导线 结构体 边部 钝角 折弯 施加 室内 | ||
【主权项】：
1.一种用于产生等离子体的天线结构体，所述用于产生等离子体的天线结构体被施加高频电力并在处理室内生成等离子体，其特征在于，包含以形成至少一个角部的方式而弯曲地形成的天线导线，所述角部以与所述角部的两侧连接的边部形成钝角的方式折弯地形成。
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