[实用新型]用于产生等离子体的天线结构体有效
| 申请号： | 201721744926.7 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN207637744U | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 朴宇钟;崔正秀 | 申请（专利权）人： | INVENIA有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 李琳;许向彤 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 角部 天线结构体 等离子体天线 本实用新型 高频电力 天线导线 结构体 边部 钝角 折弯 施加 室内 | ||
1.一种用于产生等离子体的天线结构体，所述用于产生等离子体的天线结构体被施加高频电力并在处理室内生成等离子体，其特征在于，
包含以形成至少一个角部的方式而弯曲地形成的天线导线，
所述角部以与所述角部的两侧连接的边部形成钝角的方式折弯地形成。
2.一种用于产生等离子体的天线结构体，所述用于产生等离子体的天线结构体被施加高频电力并在处理室内生成等离子体，其特征在于，
包含以形成至少一个角部的方式而弯曲地形成的天线导线，
在所述角部内所述天线导线形成为圆弧。
3.根据权利要求1或2所述的用于产生等离子体的天线结构体，其特征在于，
所述天线的所述角部中至少一部分以与被收容在所述处理室内的被处理基板的对角线重叠的方式位于所述被处理基板的上部。
4.根据权利要求1或2所述的用于产生等离子体的天线结构体，其特征在于，
所述天线导线的所述角部中位于最外廓的外廓角部为了不与被收容在所述处理室内的被处理基板重叠，而位于所述被处理基板的角部的外侧。
5.根据权利要求4所述的用于产生等离子体的天线结构体，其特征在于，
在所述天线导线中除了所述外廓角部的其他部分与所述被处理基板重叠。
6.根据权利要求1或2所述的用于产生等离子体的天线结构体，其特征在于，
在所述天线导线中，与所述角部的两侧连接的边部以相互垂直的方式被配置。
7.根据权利要求1或2所述的用于产生等离子体的天线结构体，其特征在于，
所述天线导线以至少形成一个台阶的方式弯曲地形成，
所述天线导线连接所述台阶并至少折弯两次而形成。
8.根据权利要求1所述的用于产生等离子体的天线结构体，其特征在于，
在所述角部内所述天线导线形成钝角并折弯多次而形成。
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