[实用新型]全悬浮绝对差压传感器有效
| 申请号： | 201721729690.X | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN207515954U | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 孙晓茜;孙英春;董先柱;段磊 | 申请（专利权）人： | 沈阳市传感技术研究所 |
| 主分类号： | G01L13/06 | 分类号： | G01L13/06 |
| 代理公司： | 沈阳科威专利代理有限责任公司 21101 | 代理人： | 刁佩德 |
| 地址： | 110015 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种全悬浮绝对差压传感器，解决了用两个绝对压力传感器测量存在的误差大、造价高、安全系数小、两机不同步、信号需再处理等问题，两个电极单端悬浮的电容压力传感器相对布置，与同一环形高真空腔室相连通封接成绝对差压测量体，在高真空下形成抽真空焊口后，构成电容式绝对差压结构体，下夹持悬浮座的引压口端分别与拼接式悬浮壳体壁板上的通孔封接在一起，形成全悬浮结构体，并通过薄壁端刃口焊口与带差压引口的支撑座封接，使支撑座的差压引口的腔体与下夹持悬浮座的引压口腔体连通，利用支撑座两端的差压引口来导压实现差压测量。其结构设计合理，信号稳定，性能可靠，外界影响很小，适应性强，实现了高稳定、高精度测量真空下的微小差压。 | ||
| 搜索关键词： | 绝对差 支撑座 封接 全悬浮 悬浮座 传感器 焊口 下夹 悬浮 电容压力传感器 绝对压力传感器 高精度测量 安全系数 差压测量 高真空腔 壳体壁板 外界影响 相对布置 信号稳定 悬浮结构 薄壁端 测量体 抽真空 电容式 高稳定 高真空 结构体 拼接式 引压口 再处理 电极 单端 导压 腔体 刃口 通孔 连通 口腔 测量 | ||
【主权项】：
1.一种全悬浮绝对差压传感器，包括组合在壳体内的同等量程的两个电极单端悬浮的电容压力传感器及绝缘电极引线，其特征在于：所述两个电极单端悬浮的电容压力传感器相对布置，与同一环形高真空腔室相连通封接成绝对差压测量体，设置在环形高真空腔室的高气密性的两个绝缘电极引线连接在每个电极单端悬浮的电容压力传感器的管式电极上，作为绝对差压测量体的引出线，环形高真空腔室的真空抽气孔在高真空下形成抽真空焊口后，构成电容式绝对差压结构体，把两个带引压口的下夹持悬浮座的引压口端，分别与拼接式悬浮壳体壁板上的通孔封接在一起，形成全悬浮结构体，并通过薄壁端刃口焊口与带差压引口的支撑座封接，使支撑座的差压引口的腔体与下夹持悬浮座的引压口腔体相连通，利用支撑座两端的差压引口来导压实现差压测量。
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