[实用新型]全悬浮绝对差压传感器

权利要求书

1.一种全悬浮绝对差压传感器，包括组合在壳体内的同等量程的两个电极单端悬浮的电容压力传感器及绝缘电极引线，其特征在于：所述两个电极单端悬浮的电容压力传感器相对布置，与同一环形高真空腔室相连通封接成绝对差压测量体，设置在环形高真空腔室的高气密性的两个绝缘电极引线连接在每个电极单端悬浮的电容压力传感器的管式电极上，作为绝对差压测量体的引出线，环形高真空腔室的真空抽气孔在高真空下形成抽真空焊口后，构成电容式绝对差压结构体，把两个带引压口的下夹持悬浮座的引压口端，分别与拼接式悬浮壳体壁板上的通孔封接在一起，形成全悬浮结构体，并通过薄壁端刃口焊口与带差压引口的支撑座封接，使支撑座的差压引口的腔体与下夹持悬浮座的引压口腔体相连通，利用支撑座两端的差压引口来导压实现差压测量。

2.根据权利要求1所述的全悬浮绝对差压传感器，其特征在于：所述电极单端悬浮的电容压力传感器，包括外壳，支座，组装在二者之间的定电极绝缘体和动电极以及管式电极，其中动电极采用恒弹性金属制作的双面镀贵金属层的薄膜动电极；定电极绝缘体采用蓝宝石单晶制作的蓝宝石绝缘体，并利用钎焊层将封接有管式电极的蓝宝石绝缘体的一端与作为外壳的底部设置有连体屏蔽环的定电极悬浮外壳固定在一起，蓝宝石绝缘体的设置有抛物凹面的一端不受任何约束呈自由状态，构成带有刃口薄壁端的定电极单端悬浮结构体；作为支座的带引压口的下夹持悬浮座上表面设置有与蓝宝石绝缘体底部相对称结构的抛物凹面和依托动电极的环形平面，上夹持焊环底部设置有与蓝宝石绝缘体抛物凹面的结构相吻合的抛物凹面和与引压口的下夹持悬浮座上表面相对称结构的依托动电极的环形平面，上夹持焊环顶部及外周壁不受任何约束呈自由状态，双面镀贵金属层的薄膜动电极压接封装在带引压口的下夹持悬浮座的环形平面与上夹持焊环的环形平面之间，通过动电极刃口焊口焊接在一起，构成带有刃口薄壁端的动电极单端悬浮结构体；定电极单端悬浮结构体的带有刃口薄壁端与动电极单端悬浮结构体的带有刃口薄壁端，利用悬浮结构体刃口焊口焊接在一起，同时使上夹持焊环顶部及外周壁与定电极悬浮外壳相对应的内壁之间保持间隙，上夹持焊环内周壁与蓝宝石绝缘体相对应的外周壁之间保持间隙。

3.根据权利要求2所述的全悬浮绝对差压传感器，其特征在于：将所述定电极单端悬浮结构体与动电极单端悬浮结构体焊接在一起的悬浮结构体刃口焊口与动电极刃口焊口处于同一平面上，并通过设置在定电极悬浮外壳底部的连体屏蔽环，使悬浮结构体刃口焊口与动电极刃口焊口相互隔离屏蔽。

4.根据权利要求2所述的全悬浮绝对差压传感器，其特征在于：所述蓝宝石绝缘体的抛物凹面上，镀有和管式电极相连的导电膜层，导电膜层上覆盖绝缘膜层。