[实用新型]全悬浮绝对差压传感器

说明书

一种全悬浮绝对差压传感器，解决了用两个绝对压力传感器测量存在的误差大、造价高、安全系数小、两机不同步、信号需再处理等问题，两个电极单端悬浮的电容压力传感器相对布置，与同一环形高真空腔室相连通封接成绝对差压测量体，在高真空下形成抽真空焊口后，构成电容式绝对差压结构体，下夹持悬浮座的引压口端分别与拼接式悬浮壳体壁板上的通孔封接在一起，形成全悬浮结构体，并通过薄壁端刃口焊口与带差压引口的支撑座封接，使支撑座的差压引口的腔体与下夹持悬浮座的引压口腔体连通，利用支撑座两端的差压引口来导压实现差压测量。其结构设计合理，信号稳定，性能可靠，外界影响很小，适应性强，实现了高稳定、高精度测量真空下的微小差压。

技术领域

本实用新型涉及一种真空下测量微差压的电容传感器，特别是一种全悬浮绝对差压传感器。它适于化学产品生产、制药过程、极大规模集成电路研发生产和科学试验过程的绝对微差压的测量。

背景技术

在化学产品生产、制药过程、极大规模集成电路研发生产和科学试验过程都要进行绝对微差压测量。目前，苦于没有绝对差压传感器，只能用两个绝对压力传感器（真空规）来测量。存在着误差大、造价高、安全系数小、两机不同步、信号还需再处理等问题。

按传统差压传感器原理及结构，不能测量绝对压力下的差压。还有，虽然电容式原理是做微小压力、差压传感器最理想选择。但是，由于电容内不允许进入导电介质、腐蚀性介质，参考端必须是高真空等限制，不太容易做成绝对差压结构。

世界上测量绝对差压时，该绝对差压是指差压传感器两端的压力起点都是从高真空算起，即从绝对零算起。特别是测量导电、腐蚀介质的绝对差压时，同时要求传感器内不含油及其它液体介质。目前没有这样的绝对差压传感器，只好用两个绝对压力传感器，分别测量绝对压力。两个绝对压力传感器测得绝对压力值相减，经再次信号处理后，作为绝对差压信号使用。存在的问题是：两个绝对压力传感器的误差不是简单叠加，差压值相对压力值可能很小，对于绝对压力传感器来说误差更大。如：绝对压力10Torr，两个压力口的差压值为0.1Torr时，绝对压力传感器的对应10Torr是0.25%F.S（对应满量程），0.1Torr时的误差可不是0.25%F.S。两个绝对压力传感器叠加后的对应0.1Torr的误差，经放大电路再处理后就是10%左右。

两个绝对压力传感器，可能不同步，由于不同的参考室（真空参考室），主要是本底压力不一样，造成了这一差别。另外，由于放大电路的性能差别，亦可能造成不同步。本实用新型不存在这个问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种全悬浮绝对差压传感器，解决了用两个绝对压力传感器测量存在的误差大、造价高、安全系数小、两机不同步、信号还需再处理等问题，其结构设计合理，信号稳定，性能可靠，外界影响很小，适应性强，实现了高稳定、高精度测量真空下的微小差压。

本实用新型所采用的技术方案是：该全悬浮绝对差压传感器包括组合在壳体内的同等量程的两个电极单端悬浮的电容压力传感器及绝缘电极引线，其技术要点是：所述两个电极单端悬浮的电容压力传感器相对布置，与同一环形高真空腔室相连通封接成绝对差压测量体，设置在环形高真空腔室的高气密性的两个绝缘电极引线连接在每个电极单端悬浮的电容压力传感器的管式电极上，作为绝对差压测量体的引出线，环形高真空腔室的真空抽气孔在高真空下形成抽真空焊口后，构成电容式绝对差压结构体，把两个带引压口的下夹持悬浮座的引压口端，分别与拼接式悬浮壳体壁板上的通孔封接在一起，形成全悬浮结构体，并通过薄壁端刃口焊口与带差压引口的支撑座封接，使支撑座的差压引口的腔体与下夹持悬浮座的引压口腔体相连通，利用支撑座两端的差压引口来导压实现差压测量。