[实用新型]一种半导体反应腔体及半导体反应装置

摘要

本实用新型提供一种半导体反应腔体及半导体反应装置，包括：传输腔室；设置于传输腔室侧面的半导体反应腔体，半导体反应腔体包括腔体本体，设置于腔体本体上的晶圆传送窗口，晶圆传送窗口的外侧边缘设置有框体，框体的内圈与晶圆传送窗口通过第一密封圈密封；其中，第一密封圈包括嵌入框体与腔体本体之间的嵌入部分，以及覆盖于框体及晶圆传送窗口的入口端面的覆盖部分；设置于半导体反应腔体的框体与传输腔室之间的屏蔽门。本实用新型在晶圆传送窗口与框体之间设置一蘑菇头形状的密封圈，以此将框体与半导体反应腔体本体之间的间隙封闭，避免反应副产物囤积在框体与半导体反应腔体本体之间，进而减少晶圆被污染的概率，提高产品良率及使用性能。

主权项

1.一种半导体反应腔体，其特征在于，所述半导体反应腔体至少包括：腔体本体，设置于所述腔体本体上的晶圆传送窗口，所述晶圆传送窗口的外侧边缘设置有框体，所述框体的内圈与所述晶圆传送窗口通过第一密封圈密封；其中，所述第一密封圈包括嵌入所述框体与所述腔体本体之间的嵌入部分，以及覆盖于所述框体及所述晶圆传送窗口的入口端面的覆盖部分。