[实用新型]一种基于MEMS的扫描式半导体激光器有效
| 申请号： | 201721687293.0 | 申请日： | 2017-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN207625073U | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 张正正;屈志巍 | 申请（专利权）人： | 北京万集科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/06 | 分类号： | H01S5/06;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;李相雨 |
| 地址： | 100085 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种基于MEMS的扫描式半导体激光器，包括：封装基底、半导体激光器芯片、准直透镜和MEMS振镜；所述封装基底用于将所述半导体激光器芯片、所述准直透镜和所述MEMS振镜封装在一起，并固定三者之间的相对位置；所述半导体激光器芯片用于发射激光光束；所述准直透镜用于将所述激光光束进行准直；所述MEMS振镜用于对所述激光光束进行反射使得所述激光光束的出射方向偏转；所述MEMS振镜在驱动信号的驱动下在二维空间内往复振动，使得由所述MEMS振镜反射的激光光束变为扫描激光光束。本实用新型大大减小了激光光源的尺寸，为后续激光扫描以及整形减小压力，更有利于激光传感器的小型化。 | ||
| 搜索关键词： | 激光光束 半导体激光器芯片 准直透镜 封装 半导体激光器 本实用新型 扫描式 基底 减小 反射 发射激光光束 扫描激光光束 激光传感器 二维空间 方向偏转 激光光源 激光扫描 驱动信号 往复振动 整形 出射 准直 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种基于MEMS的扫描式半导体激光器，其特征在于，包括：封装基底、半导体激光器芯片、准直透镜和MEMS振镜；所述封装基底用于将所述半导体激光器芯片、所述准直透镜和所述MEMS振镜封装在一起，并固定三者之间的相对位置；所述半导体激光器芯片用于发射激光光束；所述准直透镜用于将所述激光光束进行准直；所述MEMS振镜用于对所述激光光束进行反射使得所述激光光束的出射方向偏转；其中，所述MEMS振镜在驱动信号的驱动下在二维空间内往复振动，使得由所述MEMS振镜反射的激光光束变为扫描激光光束。
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