[实用新型]一种晶片电阻率检测装置有效
| 申请号: | 201721686210.6 | 申请日: | 2017-12-07 |
| 公开(公告)号: | CN207457349U | 公开(公告)日: | 2018-06-05 |
| 发明(设计)人: | 孔凡伟;段花山;黄超阳 | 申请(专利权)人: | 山东晶导微电子有限公司 |
| 主分类号: | G01R27/02 | 分类号: | G01R27/02 |
| 代理公司: | 济宁汇景知识产权代理事务所(普通合伙) 37254 | 代理人: | 徐国印 |
| 地址: | 273100 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种晶片电阻率检测装置,包括壳体,所述壳体的内壁通过第一转动件转动连接有横向设置的第一螺纹杆,且第一螺纹杆贯穿壳体的一侧侧壁设置,所述第一螺纹杆的侧壁套设有两个第一斜齿轮,所述壳体的上端内壁通过第二转动件转动连接有两个竖直设有第二螺纹杆,且两个第二螺纹杆分别位于第一斜齿轮的上方,两个所述第二螺纹杆远离第二转动件的一端均设有与第一斜齿轮匹配的第二斜齿轮,两个所述第二螺纹杆的侧壁均套设有与其匹配的螺母,两个所述螺母之间设有检测台,所述壳体的上端侧壁设有与检测台匹配的开口,本实用新型可在密封环境下检测电阻率,提高准确性。 | ||
| 搜索关键词: | 螺纹杆 壳体 斜齿轮 转动件 侧壁 匹配 螺母 本实用新型 检测装置 片电阻率 转动连接 检测台 种晶 横向设置 密封环境 上端侧壁 上端内壁 电阻率 内壁 竖直 开口 贯穿 检测 | ||
【主权项】:
一种晶片电阻率检测装置,包括壳体(1),其特征在于,所述壳体(1)的内壁通过第一转动件(2)转动连接有横向设置的第一螺纹杆(3),且第一螺纹杆(3)贯穿壳体(1)的一侧侧壁设置,所述第一螺纹杆(3)的侧壁套设有两个第一斜齿轮(4),所述壳体(1)的上端内壁通过第二转动件(5)转动连接有两个竖直设有第二螺纹杆(6),且两个第二螺纹杆(6)分别位于第一斜齿轮(4)的上方,两个所述第二螺纹杆(6)远离第二转动件(5)的一端均设有与第一斜齿轮(4)匹配的第二斜齿轮(7),两个所述第二螺纹杆(6)的侧壁均套设有与其匹配的螺母(8),两个所述螺母(8)之间设有检测台(9),所述壳体(1)的上端侧壁设有与检测台(9)匹配的开口(10),所述壳体(1)的上端侧壁还设有两个滑槽(11),且两个滑槽(11)分别位于开口(10)的两侧,两个所述滑槽(11)均通过滑块(12)滑动连接有封闭板(13),且两个封闭板(13)位于开口(10)的上方,所述壳体(1)的一侧内壁设有温度控制器(14),所述壳体(1)的另一侧内壁真空泵(15),且真空泵(15)贯穿壳体(1)的侧壁设置。
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