[实用新型]一种晶片电阻率检测装置

权利要求书

1.一种晶片电阻率检测装置，包括壳体（1），其特征在于，所述壳体（1）的内壁通过第一转动件（2）转动连接有横向设置的第一螺纹杆（3），且第一螺纹杆（3）贯穿壳体（1）的一侧侧壁设置，所述第一螺纹杆（3）的侧壁套设有两个第一斜齿轮（4），所述壳体（1）的上端内壁通过第二转动件（5）转动连接有两个竖直设有第二螺纹杆（6），且两个第二螺纹杆（6）分别位于第一斜齿轮（4）的上方，两个所述第二螺纹杆（6）远离第二转动件（5）的一端均设有与第一斜齿轮（4）匹配的第二斜齿轮（7），两个所述第二螺纹杆（6）的侧壁均套设有与其匹配的螺母（8），两个所述螺母（8）之间设有检测台（9），所述壳体（1）的上端侧壁设有与检测台（9）匹配的开口（10），所述壳体（1）的上端侧壁还设有两个滑槽（11），且两个滑槽（11）分别位于开口（10）的两侧，两个所述滑槽（11）均通过滑块（12）滑动连接有封闭板（13），且两个封闭板（13）位于开口（10）的上方，所述壳体（1）的一侧内壁设有温度控制器（14），所述壳体（1）的另一侧内壁真空泵（15），且真空泵（15）贯穿壳体（1）的侧壁设置。

2.根据权利要求1所述的一种晶片电阻率检测装置，其特征在于，所述第一螺纹杆（3）贯穿壳体（1）处套设有密封圈。

3.根据权利要求1所述的一种晶片电阻率检测装置，其特征在于，所述第一螺纹杆（3）为中空结构，所述第一螺纹杆（3）中设有两个平行设置的拨片（16），且拨片（16）贯穿第一螺纹杆（3）的一端侧壁设置，两个所述拨片（16）之间通过预设数量的弹簧（17）连接，两个所述拨片（16）远离弹簧（17）的一侧侧壁均设有预设数量的卡杆（18），且卡杆（18）贯穿第一螺纹杆（3）的侧壁设置，所述壳体（1）的侧壁设有预设数量的与卡杆（18）匹配的卡槽（19）。

4.根据权利要求1所述的一种晶片电阻率检测装置，其特征在于，所述第一螺纹杆（3）上包裹有海绵保护套。

5.根据权利要求1所述的一种晶片电阻率检测装置，其特征在于，两个所述第一斜齿轮（4）在第一螺纹杆（3）上同向设置。