[实用新型]一种固晶机的蓝膜上料装置及固晶机有效
| 申请号： | 201721685630.2 | 申请日： | 2017-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN207676896U | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 邓朝旭 | 申请（专利权）人： | 深圳市朝阳光科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市深软翰琪知识产权代理有限公司 44380 | 代理人： | 孙勇娟 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种固晶机的蓝膜上料装置及固晶机，该蓝膜上料装置，包括：固定板；装在所述固定板上的高度到位气缸；由所述高度定位气缸带动上下移动的电机，所述电机具有旋转电机轴；装在所述旋转电机轴上的夹料气缸；装在所述夹料气缸下方的夹头。本实用新型技术方案可替代人工上料，节省了人力成本。 | ||
| 搜索关键词： | 固晶机 上料装置 蓝膜 本实用新型 旋转电机轴 夹料气缸 固定板 电机 高度定位 气缸带动 人工上料 人力成本 上下移动 夹头 气缸 替代 | ||
【主权项】：
1.一种固晶机的蓝膜上料装置，其特征在于，包括：固定板；装在所述固定板上的高度到位气缸；由所述高度到位气缸带动上下移动的电机，所述电机具有旋转电机轴；装在所述旋转电机轴上的夹料气缸；装在所述夹料气缸下方的夹头。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
