[实用新型]一种固晶机的蓝膜上料装置及固晶机有效
| 申请号： | 201721685630.2 | 申请日： | 2017-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN207676896U | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 邓朝旭 | 申请（专利权）人： | 深圳市朝阳光科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市深软翰琪知识产权代理有限公司 44380 | 代理人： | 孙勇娟 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 固晶机 上料装置 蓝膜 本实用新型 旋转电机轴 夹料气缸 固定板 电机 高度定位 气缸带动 人工上料 人力成本 上下移动 夹头 气缸 替代 | ||
【权利要求书】：
1.一种固晶机的蓝膜上料装置，其特征在于，包括：
固定板；
装在所述固定板上的高度到位气缸；
由所述高度到位气缸带动上下移动的电机，所述电机具有旋转电机轴；
装在所述旋转电机轴上的夹料气缸；
装在所述夹料气缸下方的夹头。
2.根据权利要求1所述的蓝膜上料装置，其特征在于，所述高度到位气缸的高度上下可调。
3.根据权利要求1所述的蓝膜上料装置，其特征在于，所述夹头包括下夹头和由所述夹料气缸带动上下移动的上夹头。
4.根据权利要求1所述的蓝膜上料装置，其特征在于，所述旋转电机轴的方向朝下。
5.根据权利要求1所述的蓝膜上料装置，其特征在于，所述固定板的安装孔为两个。
6.一种固晶机，其特征在于，所述固晶机包括权利要求1至5中任一项所述的蓝膜上料装置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
