[实用新型]一种磁场可变电弧调整沉积装置有效
| 申请号： | 201721554216.8 | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN207596948U | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 付德君;李娜;曾晓梅 | 申请（专利权）人： | 武汉江海行纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 | 代理人： | 王维 |
| 地址： | 430000 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磁场可变电弧调整沉积装置，涉及真空物理气相沉积技术领域，该装置包括支撑杆、阴极靶材和组件。阴极靶材固定于所述支撑杆一端。组件组设于支撑杆上，且所述组件包括线圈和电流调节装置，所述电流调节装置用于调节线圈内部电流大小，使所述阴极靶材在表面收到的磁场保持不变。本实用新型的驱动件通过不断调整线圈电流的大小，保证了阴极靶材表面的磁场稳定不变，从而控制电弧位置强度，形状，最终使得靶材能够准确稳定的沉积在工件表面。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极靶材 支撑杆 磁场 电流调节装置 本实用新型 沉积装置 电弧调整 可变 磁场稳定 电弧位置 调整线圈 工件表面 内部电流 气相沉积 真空物理 组件包括 驱动件 组件组 靶材 沉积 保证 | ||
【主权项】：
1.一种磁场可变电弧调整沉积装置，其特征在于，其包括：一支撑杆(1)；一阴极靶材(2)，其固定于所述支撑杆(1)一端；一组件(3)，所述支撑杆(1)组设于所述组件(3)，所述组件(3)包括线圈(30)和电流调节装置(31)电连接，所述电流调节装置(31)用于调节线圈(30)电流大小。
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