[实用新型]一种磁场可变电弧调整沉积装置有效
| 申请号： | 201721554216.8 | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN207596948U | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 付德君;李娜;曾晓梅 | 申请（专利权）人： | 武汉江海行纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 | 代理人： | 王维 |
| 地址： | 430000 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阴极靶材 支撑杆 磁场 电流调节装置 本实用新型 沉积装置 电弧调整 可变 磁场稳定 电弧位置 调整线圈 工件表面 内部电流 气相沉积 真空物理 组件包括 驱动件 组件组 靶材 沉积 保证 | ||
1.一种磁场可变电弧调整沉积装置，其特征在于，其包括：
一支撑杆(1)；
一阴极靶材(2)，其固定于所述支撑杆(1)一端；
一组件(3)，所述支撑杆(1)组设于所述组件(3)，所述组件(3)包括线圈(30)和电流调节装置(31)电连接，所述电流调节装置(31)用于调节线圈(30)电流大小。
2.如权利要求1所述的磁场可变电弧调整沉积装置，其特征在于：所述组件(3)包括主体部分(32)，所述线圈(30)安装于所述主体部分(32)上。
3.如权利要求2所述的磁场可变电弧调整沉积装置，其特征在于：所述线圈(30)嵌设于所述主体部分(32)。
4.如权利要求3所述的磁场可变电弧调整沉积装置，其特征在于：所述主体部分(32)为环形且和线圈(30)共同环绕固定于支撑杆(1)上。
5.如权利要求2所述的磁场可变电弧调整沉积装置，其特征在于：所述组件(3)还包括固定装置(33)，其将主体部分(32)固定于支撑杆(1)上。
6.如权利要求5所述的磁场可变电弧调整沉积装置，其特征在于：所述电流调节装置(31)还包括一计算单元(34)，用于计算电流量。
7.如权利要求6所述的磁场可变电弧调整沉积装置，其特征在于：所述计算单元(34)还和一距离测量仪连接，所述距离测量仪用于测量阴极靶材(2)消耗量。
8.如权利要求5所述的磁场可变电弧调整沉积装置，其特征在于：所述组件(3)还包括一温度报警装置，用于检测线圈(30)温度并在温度高于预设值时报警。
9.如权利要求1-7任意一项所述的磁场可变电弧调整沉积装置，其特征在于：所述电流调节装置(31)上设有读数表。
10.如权利要求1所述的磁场可变电弧调整沉积装置，其特征在于：所述阴极靶材(2)还包含靶材(20)和含有凹槽的阴极靶座(21)，所述阴极靶座(21)固定于支撑杆(1)上，靶材(20)固定在阴极靶座(21)上。
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