[实用新型]真空离子镀膜装置有效
| 申请号： | 201721553462.1 | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN207452239U | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 付德君;李娜;曾晓梅 | 申请（专利权）人： | 武汉江海行纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 | 代理人： | 蔡忠祥 |
| 地址： | 430000 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空离子镀膜装置，涉及离子镀膜领域，该装置包括：镀膜炉，其设有腔体，所述腔体内设有基片架、膜料和离子源，所述基片架用于承放待镀膜的基片，所述离子源用于使所述膜料成为蒸汽并镀在所述基片上；真空泵，其与所述腔体相连；冷水箱，其通过进水管与所述腔体相连，所述进水管上设有增压泵；热水箱，其通过出水管与所述腔体相连；以及冷水机，其通过冷水管与所述冷水箱相连，并通过热水管与所述热水箱相连。本实用新型中的真空离子镀膜装置能提高镀膜的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 腔体 真空离子镀膜 本实用新型 基片架 进水管 冷水箱 离子源 热水箱 镀膜 膜料 离子镀膜 出水管 镀膜炉 冷水管 冷水机 热水管 增压泵 真空泵 承放 蒸汽 体内 | ||
【主权项】：
一种真空离子镀膜装置，其特征在于，包括：镀膜炉(1)，其设有腔体(11)，所述腔体(11)内设有基片架(12)、膜料(13)和离子源(14)，所述基片架(12)用于承放待镀膜的基片，所述离子源(14)用于使所述膜料(13)成为蒸汽并镀在所述基片上；真空泵(2)，其与所述腔体(11)相连；冷水箱(3)，其通过进水管(31)与所述腔体(11)相连，所述进水管(31)上设有增压泵(32)；热水箱(4)，其通过出水管(41)与所述腔体(11)相连；以及冷水机(5)，其通过冷水管(51)与所述冷水箱(3)相连，并通过热水管(52)与所述热水箱(4)相连。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉江海行纳米科技有限公司，未经武汉江海行纳米科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721553462.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种镀铝机真空气囊密封装置
- 下一篇：新能源汽车逆变器散热片PVD镀膜设备
- 同类专利
- 专利分类
