[实用新型]一种小型等离子体化学气相沉积镀膜装置

摘要

一种小型等离子体化学气相沉积镀膜装置，涉及一种镀膜装置，所述装置主机位于机台上方，主机前面设有门，门上设有带挡板的观察窗和循环冷却水道；主机上端设有射频电源接入口和反应气体接入口，这两个接口共同接入导管，并通过匀气板与辉光发生板接触；辉光发生板连接升降机构，隔离密封采用波纹管；真空室采用方型结构，外部设有若干标准真空法兰接口，样品台位于真空室底部辉光发生板的正下方。该装置针对实验室设计的十分小巧，前开门同真空室一样大，便于清理、维护；辉光发生器上设有匀气机构，使通入的反应气体更均匀；真空室预留多个真空法兰接口，方便接驳其它仪器设备、外壳有水冷装置，有效保护设备运行安全。

主权项

1.一种小型等离子体化学气相沉积镀膜装置，其特征在于，所述装置主机位于机台上方，主机前面设有门，门上设有带挡板的观察窗和循环冷却水道；主机上端设有射频电源接入口和反应气体接入口，这两个接口共同接入导管，并通过匀气板与辉光发生板接触；辉光发生板连接升降机构，隔离密封采用波纹管；真空室采用方型结构，外部设有若干标准真空法兰接口，样品台位于真空室底部辉光发生板的正下方。