[实用新型]一种多晶铸锭坩埚自动喷涂装置

摘要

本实用新型公开了一种多晶铸锭坩埚自动喷涂装置，它包括坩埚喷涂操作台、坩埚喷涂机器人和坩埚喷涂固定旋转台，喷涂方法是将坩埚放置在坩埚喷涂固定旋转台的坩埚加热腔内进行加热，通过红外测温仪对坩埚温度进行检测，从而启动坩埚喷涂机器人对坩埚进行喷涂，待坩埚喷涂好后，可旋转工作台装卸坩埚并对另一坩埚进行喷涂。本实用新型提供的多晶铸锭坩埚自动喷涂装置，提高了喷涂质量和生产效率，降低了人工成本，改善了工作人员的工作环境，提高了多晶硅铸锭生产线的自动化程度和生产效率。

主权项

一种多晶铸锭坩埚自动喷涂装置，包括坩埚喷涂操作台、坩埚喷涂机器人和坩埚喷涂固定旋转台，其特征在于：所述坩埚喷涂操作台包括搅拌装置和气体输送装置，所述坩埚喷涂机器人包括机器人本体以及与机器人本体电缆连接的控制柜，所述机器人本体的机械臂上安装有自动喷枪和红外测温仪，自动喷枪的液体入口通过输液管与搅拌装置连接，气体入口通过气管与气体输送装置相连；所述坩埚喷涂固定旋转台包括固定台座、旋转台和坩埚加热腔，旋转台中心固定有旋转轴，旋转轴的另一端设置在固定台座内，旋转轴上套设固定有从动齿轮，固定台座上设置有电动机和减速机，电动机与减速机通过连轴器连接，减速机上的主动齿轮与旋转轴上的从动齿轮啮合，坩埚加热腔为两个，对称设置在旋转台的两侧；所述坩埚加热腔为框结构，包括底面和四个侧面，所述坩埚加热腔的每个面上都设置有温度调节控制器，所述坩埚加热腔每个面的结构从内至外依次包括坩埚接触层、加热板、保温层和外部封板。