[实用新型]一种多晶铸锭坩埚自动喷涂装置有效

专利信息
申请号: 201721526938.2 申请日: 2017-11-15
公开(公告)号: CN207463516U 公开(公告)日: 2018-06-08
发明(设计)人: 付家云;夏年丰;李书森;胡瑾;曾霞 申请(专利权)人: 四川永祥硅材料有限公司
主分类号: B05B13/04 分类号: B05B13/04;B05B13/02;B05B15/25;B05D3/02;C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 王学强;罗满
地址: 614800 四川省*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 坩埚喷涂 坩埚 喷涂 多晶铸锭坩埚 自动喷涂装置 本实用新型 生产效率 旋转台 机器人 操作台 多晶硅铸锭 红外测温仪 人工成本 工作台 加热腔 可旋转 加热 装卸 自动化 检测
【权利要求书】:

1.一种多晶铸锭坩埚自动喷涂装置,包括坩埚喷涂操作台、坩埚喷涂机器人和坩埚喷涂固定旋转台,其特征在于:所述坩埚喷涂操作台包括搅拌装置和气体输送装置,所述坩埚喷涂机器人包括机器人本体以及与机器人本体电缆连接的控制柜,所述机器人本体的机械臂上安装有自动喷枪和红外测温仪,自动喷枪的液体入口通过输液管与搅拌装置连接,气体入口通过气管与气体输送装置相连;所述坩埚喷涂固定旋转台包括固定台座、旋转台和坩埚加热腔,旋转台中心固定有旋转轴,旋转轴的另一端设置在固定台座内,旋转轴上套设固定有从动齿轮,固定台座上设置有电动机和减速机,电动机与减速机通过连轴器连接,减速机上的主动齿轮与旋转轴上的从动齿轮啮合,坩埚加热腔为两个,对称设置在旋转台的两侧;所述坩埚加热腔为框结构,包括底面和四个侧面,所述坩埚加热腔的每个面上都设置有温度调节控制器,所述坩埚加热腔每个面的结构从内至外依次包括坩埚接触层、加热板、保温层和外部封板。

2.根据权利要求1所述的一种多晶铸锭坩埚自动喷涂装置,其特征在于:所述坩埚加热腔的底面外部设置有角度调节装置,所述角度调节装置包括扇形齿板及与扇形齿板齿轮啮合的螺杆,扇形齿板端部固定在坩埚加热腔底面,螺杆通过轴承固定在旋转台上。

3.根据权利要求1所述的一种多晶铸锭坩埚自动喷涂装置,其特征在于:所述加热板的加热元件为加热扁带,下侧面的坩埚接触层为不锈钢板,左侧面、右侧面、上侧面和底面的坩埚接触层为耐高温硅橡胶板,。

4.根据权利要求1所述的一种多晶铸锭坩埚自动喷涂装置,其特征在于:所述坩埚加热腔的下侧面与底面固定连接,左、右、上侧面分别与底面旋转连接。

5.根据权利要求4所述的一种多晶铸锭坩埚自动喷涂装置,其特征在于:所述坩埚加热腔的左、右、上侧面通过一对销轴和导套与底面旋转连接。

6.根据权利要求1所述的一种多晶铸锭坩埚自动喷涂装置,其特征在于:所述坩埚加热腔的四角设有压紧装置。

7.根据权利要求1所述的一种多晶铸锭坩埚自动喷涂装置,其特征在于:所述坩埚加热腔的四个侧面设置有把手。

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