[实用新型]一种高频高线性摆镜检测系统有效
| 申请号： | 201721496074.4 | 申请日： | 2017-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN207515998U | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 吴李宗;张德祥;王锦华;陈轩 | 申请（专利权）人： | 扬州莱达光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 黄冠华 |
| 地址： | 225000 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高频高线性摆镜检测系统，包括光学平台、测试设备和控制系统，测试设备包括设置在光学平台上方的扫描器动态轨迹测量光路、扫描器过零检测电路、半导体激光光源、四通道虚拟示波器和操作显示台，所述扫描器动态轨迹测量光路包括带二维调节机构激光平行光管和轨迹接收系统，所述扫描器动态轨迹测量光路包括自准直行光管和二维微调工作台，所述半导体激光光源经光纤输出作为带二维调节机构激光平行光管和自准直平行光管的激光光源，所述四通道虚拟示波器用于连接两路PSD的Vx、Vy信号。本实用新型所提供的高线性摆镜检测系统，整机结构紧凑，且操作方便，安全性好，可以适应于外界各种干扰，检测精确性高。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描器 测量光路 动态轨迹 检测系统 高线性 摆镜 半导体激光光源 二维调节机构 本实用新型 虚拟示波器 测试设备 光学平台 平行光管 四通道 激光 自准直平行光管 过零检测电路 操作显示 二维微调 光纤输出 激光光源 接收系统 控制系统 整机结构 自准直 工作台 光管 两路 紧凑 检测 | ||
【主权项】：
1.一种高频高线性摆镜检测系统，包括光学平台、测试设备和控制系统，其特征在于：所述测试设备包括设置在光学平台上方的扫描器动态轨迹测量光路、扫描器过零检测电路、半导体激光光源、四通道虚拟示波器和操作显示台，所述光学平台上方设置有保护罩，所述扫描器动态轨迹测量光路包括带二维调节机构激光平行光管和轨迹接收系统，所述扫描器动态轨迹测量光路包括自准直行光管和二维微调工作台，所述半导体激光光源经光纤输出作为带二维调节机构激光平行光管和自准直平行光管的激光光源，所述四通道虚拟示波器用于连接两路PSD的Vx、Vy信号。
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