[实用新型]一种高频高线性摆镜检测系统有效
申请号: | 201721496074.4 | 申请日: | 2017-11-10 |
公开(公告)号: | CN207515998U | 公开(公告)日: | 2018-06-19 |
发明(设计)人: | 吴李宗;张德祥;王锦华;陈轩 | 申请(专利权)人: | 扬州莱达光电技术有限公司 |
主分类号: | G01M11/00 | 分类号: | G01M11/00 |
代理公司: | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 黄冠华 |
地址: | 225000 江苏省扬*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 扫描器 测量光路 动态轨迹 检测系统 高线性 摆镜 半导体激光光源 二维调节机构 本实用新型 虚拟示波器 测试设备 光学平台 平行光管 四通道 激光 自准直平行光管 过零检测电路 操作显示 二维微调 光纤输出 激光光源 接收系统 控制系统 整机结构 自准直 工作台 光管 两路 紧凑 检测 | ||
1.一种高频高线性摆镜检测系统,包括光学平台、测试设备和控制系统,其特征在于:所述测试设备包括设置在光学平台上方的扫描器动态轨迹测量光路、扫描器过零检测电路、半导体激光光源、四通道虚拟示波器和操作显示台,所述光学平台上方设置有保护罩,所述扫描器动态轨迹测量光路包括带二维调节机构激光平行光管和轨迹接收系统,所述扫描器动态轨迹测量光路包括自准直行光管和二维微调工作台,所述半导体激光光源经光纤输出作为带二维调节机构激光平行光管和自准直平行光管的激光光源,所述四通道虚拟示波器用于连接两路PSD的Vx、Vy信号。
2.根据权利要求1所述的一种高频高线性摆镜检测系统,其特征在于:所述带二维调节机构激光平行光管包括光纤、平行光管和二维调节机构,所述二维调节机构包括俯仰微调结构和方位微调结构,所述光纤与平行光管相连,所述二维调节机构设置在平行光管的下部。
3.根据权利要求2所述的一种高频高线性摆镜检测系统,其特征在于:所述带二维调节机构激光平行光管的焦距为200mm,有效孔径为φ40mm,光纤直径为0.01mm,数值孔径为0.33,方位微调的分辨率为0.18″,俯仰微调的分辨率为1.3″。
4.根据权利要求1所述的一种高频高线性摆镜检测系统,其特征在于:所述自准直平行光管中自准物镜的焦距为500mm,有效光学口径为Ф50mm,PSD的有效面积为21*21mm,分辨率为1μm,响应时间为1μs。
5.根据权利要求1所述的一种高频高线性摆镜检测系统,其特征在于:所述半导体激光光源为波长为650nm的半导体激光。
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